創新、高性能的一體化設計，在保持即插即用兼容性的同時，省去了外部控制器和互聯線纜采用超低慣量無刷電機驅動，響應迅捷流暢先進掃描電子系統可檢測透明、半透明及不透明物體，無需因晶圓尺寸差異進行機械重定位運動控制軟件配備全套常用指令集，兼容多種半導體平臺并實現無縫對接典型對準周期小于四秒，助力實現系統最大吞吐量

晶圓尺寸 2英寸、3英寸、100毫米、125毫米、150毫米
晶圓類型 透明、半透明、不透明晶圓
適用基材 方形基板兼容
晶圓處理 真空吸盤與頂針系統
對中精度 預對準器吸盤上±25微米

角度精度
（3σ標準）
10000線編碼器 預對準器吸盤上±0.04°
24000線編碼器 預對準器吸盤上±0.02°

伺服軸數 3軸
主機通信 RS232、以太網
最大初始偏移 10毫米（2英寸晶圓為6毫米）
機身尺寸（寬×長×高） 173毫米×267毫米×190毫米
設備兼容性 LPA38-3、LPA58-3
LPA4EH-3、LPA5EH-3、LPA6EH-3、LPA8EH-3
整機重量 5.00千克
電源要求 100-240伏交流電，50/60赫茲，48伏安
或24伏直流電/2安培
真空要求 12英寸汞柱
平邊/缺口標準 符合SEMI標準
潔凈等級 1級
平均無故障時間 超過70,000小時