探針臺

術語“探針臺”涵蓋了用于將分析探針或測試探針放置在測試樣品上不同位置進行無損電氣測試的各種設備。此處的示例顯示了可用于半導體、材料科學、物理學、光學和 MEMS 的各種不同尺寸和類型。所有產品都是專門為最終用戶的獨特訪問、范圍、溫度和測試要求量身定制的。這些旨在展示 MTS 定制設計和制造車間的可能性范圍，該列表幾乎并不詳盡。請聯系我們討論您的特殊需求。

中等樣品量 – 2 英寸（50 毫米）

該站基于 8 英寸 （CF150） 法蘭，具有：

• 雙壁水冷夾套
• 多達 6 個探針縱器
• 從 UHV 到環境溫度運行
• 在 1 個大氣壓中加熱至 >900C。 O₂
• 大觀察區域，便于顯微鏡訪問
• 防止輻射損失的百葉窗
• 隔振臺
• 高精度顯微作器 <0.0001“ （<2μ）
• 提供電動載物臺
• LHe 冷卻可用于 <18K
• 用于儀表、入口等的附加端口