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MCALLISTER MA系列xyz軸真空位移平臺

MCALLISTER MA20系列xyz軸真空位移平臺標準配置特性:
1. 上法蘭傾斜調節功能 – 提供±2°調節范圍
2. 緊湊型設計 – 具體尺寸參見圖紙
3. 可調節交叉滾柱軸承 – 增強結構剛性
4. 波紋管內徑2.0英寸(50mm) – 支持全范圍(方形軌跡)平移
5. 緊湊堅固設計配合全Z軸框架 – 為長達12英寸(300mm)的行程提供額外剛性支撐
6. 可選配大型千分尺
7. XY軸行程±0.5英寸(12.5mm)方形軌跡
8. 使用大型千分尺時:
– 分辨率優于0.0001英寸(2.5微米)
– 重復定位精度優于0.00005英寸(1.25微米)
9. 使用小型千分尺時:
– 分辨率優于0.001英寸(10微米)
– 重復定位精度優于0.0005英寸(5微米)
10. Z軸行程范圍2-12英寸(50-300mm)
11. 標準Z軸:
– 分辨率優于0.001英寸(25微米)
– 重復定位精度優于0.0005英寸(12.5微米)
12. 2英寸Z軸行程可選高精度配置:
– 分辨率優于0.0001英寸(2.5微米)
– 重復定位精度優于0.00005英寸(1.25微米)
13. 可現場15分鐘內快速轉換為步進電機驅動
14. 所有型號預置限位開關安裝螺紋
15. 上法蘭可根據設備需求選擇帶螺紋或不帶螺紋版本
16. 標準配置6英寸(100mm)Conflat基座法蘭
17. 可選配置:
– 5個迷你Conflat法蘭
– 2?英寸(CF38)/4?英寸(CF63)/8英寸(CF150)Conflat基座法蘭

MCALLISTER MA20系列xyz軸真空位移平臺主要型號:

ModelCompressed HeightZ Stroke
MA20024.75″ (120 mm)2″ (50 mm)
MA20045.05″ (128 mm)4″ (100 mm)
MA20065.35″ (135 mm)6″ (150 mm)
MA20085.65″ (143 mm)8″ (200 mm)
MA20105.95″ (150 mm)10″ (250 mm)
MA20126.25″ (159 mm)12″ (300 mm)

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