Mcallister 探針臺(tái)用于在測(cè)試樣品的不同位置定位用于無損電氣測(cè)試的分析或測(cè)試探針的各種設(shè)備。 可用于半導(dǎo)體、材料科學(xué)、物理學(xué)、光學(xué)和MEMS的各種不同尺寸和類型。所有這些都是專門為最終用戶的獨(dú)特訪問、范圍、溫度和測(cè)試要求量身定制的。Mcallister 探針臺(tái)旨在展示MTS定制設(shè)計(jì)和制造車間的各種可能性。
Mcallister 探針臺(tái)適用不同樣品尺寸：
小樣本量–<1英寸（<25毫米）
該站基于約2.75英寸（CF40）法蘭，具有以下特點(diǎn)：
帶隔熱罩的加熱反應(yīng)堆容器
等溫反應(yīng)器體積
單獨(dú)的樣品加熱器
減少化學(xué)反應(yīng)實(shí)驗(yàn)的細(xì)胞體積
高精度微操作器<0.0005英寸（<12μ）
光學(xué)顯微鏡全尺寸觀察區(qū)
緊密耦合渦輪泵的緊湊設(shè)計(jì)
具有堅(jiān)固的儀器支架和蓋子
中等樣本尺寸–2英寸（50毫米）
該站基于約8英寸（CF150）法蘭，具有以下特點(diǎn)：
雙壁水冷夾套
最多6個(gè)探頭操縱器
從特高壓到環(huán)境運(yùn)行
在1個(gè)大氣壓下加熱至>900℃。氧氣
大觀察區(qū)域，便于顯微鏡觀察
防止輻射損失的百葉窗
隔振表
高精度微操作器<0.0001英寸（<2μ）
電動(dòng)舞臺(tái)可用
LHe可冷卻至<18K
用于儀表、入口等的額外端口。
大樣本量–6英寸（150毫米）
所示為蓋子已拆下
完全訪問整個(gè)晶圓表面
±3英寸（±765毫米）XY行程
0.5英寸（12.5毫米）Z軸行程
計(jì)算機(jī)運(yùn)動(dòng)控制
冷卻至-40℃
48個(gè)儀器饋通
1000X三目顯微鏡（未顯示）
集成多電路探針卡安裝
單個(gè)真空兼容掃描探頭
真空度達(dá)到10-6torr
附加儀器端口
高精度定位器<0.0001〃（<2μ）
Mcallister 探針臺(tái)
