MCALLISTER MA系列xyz軸真空位移平臺

MCALLISTER MA20系列xyz軸真空位移平臺標(biāo)準(zhǔn)配置特性：
1. 上法蘭傾斜調(diào)節(jié)功能 – 提供±2°調(diào)節(jié)范圍
2. 緊湊型設(shè)計(jì) – 具體尺寸參見圖紙
3. 可調(diào)節(jié)交叉滾柱軸承 – 增強(qiáng)結(jié)構(gòu)剛性
4. 波紋管內(nèi)徑2.0英寸(50mm) – 支持全范圍(方形軌跡)平移
5. 緊湊堅(jiān)固設(shè)計(jì)配合全Z軸框架 – 為長達(dá)12英寸(300mm)的行程提供額外剛性支撐
6. 可選配大型千分尺
7. XY軸行程±0.5英寸(12.5mm)方形軌跡
8. 使用大型千分尺時(shí)：
– 分辨率優(yōu)于0.0001英寸(2.5微米)
– 重復(fù)定位精度優(yōu)于0.00005英寸(1.25微米)
9. 使用小型千分尺時(shí)：
– 分辨率優(yōu)于0.001英寸(10微米)
– 重復(fù)定位精度優(yōu)于0.0005英寸(5微米)
10. Z軸行程范圍2-12英寸(50-300mm)
11. 標(biāo)準(zhǔn)Z軸：
– 分辨率優(yōu)于0.001英寸(25微米)
– 重復(fù)定位精度優(yōu)于0.0005英寸(12.5微米)
12. 2英寸Z軸行程可選高精度配置：
– 分辨率優(yōu)于0.0001英寸(2.5微米)
– 重復(fù)定位精度優(yōu)于0.00005英寸(1.25微米)
13. 可現(xiàn)場15分鐘內(nèi)快速轉(zhuǎn)換為步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)
14. 所有型號預(yù)置限位開關(guān)安裝螺紋
15. 上法蘭可根據(jù)設(shè)備需求選擇帶螺紋或不帶螺紋版本
16. 標(biāo)準(zhǔn)配置6英寸(100mm)Conflat基座法蘭
17. 可選配置：
– 5個(gè)迷你Conflat法蘭
– 2?英寸(CF38)/4?英寸(CF63)/8英寸(CF150)Conflat基座法蘭

MCALLISTER MA20系列xyz軸真空位移平臺主要型號：