Mechano Transformer MTPA-2251SPA 壓電輔助臺Piezo Assist Stage

壓電輔助臺

壓電輔助臺是一個手動臺,其精細定位分辨率為20納米,而粗略定位范圍可為幾毫米至13毫米。壓電輔助臺主要用于定位工作臺或夾具,或在納米壓痕等應用中控制非常精確和非常小的負載。壓電輔助臺體積小巧,用戶友好。

壓電輔助臺工作原理:

在X軸和Y軸的每一個中,壓電輔助臺具有作為粗調機構的千分尺和作為微調機構的壓電輔助機構。壓電輔助舞臺是一種精細調節機構設備,用于精確定位或精確力控制。通過壓電致動器的伸長和收縮可以獲得精確的定位和精確的力控制。在粗調機構中,可調線性運動范圍為13mm,分辨率為10微米。在微調機構中,可調線性運動范圍為35微米,分辨率為20納米。需要納米分辨率的精確定位是可能的。通過轉動千分尺旋鈕,可以實現粗調機構的精確定位。

Mechano Transformer壓電輔助臺主要型號:

型號尺寸粗動微動精細移動最小分辨率千分尺操作位置
MTPA-2251SPA25×25mm±3mm25μm & aboveBelow20nmSide
MTPA-2251SRPA25×25mm±3mm25μm & aboveBelow20nmSide
MTPA-2251SRZPA25×25mm±3mm25μm & aboveBelow20nmSide
MTPA-2251SZPA25×25mm±3mm25μm & aboveBelow20nmSide
MTPA-2401SPA40×40mm±6.5mm30μm? & aboveBelow20nmSide
MTPA-2401SRPA40×40mm±6.5mm30μm? & aboveBelow20nmSide
MTPA-2401SRZPA40×40mm±6.5mm30μm? & aboveBelow20nmSide
MTPA-2401SZPA40×40mm±6.5mm30μm? & aboveBelow20nmSide
MTPA-2601SPA60x60mm±6.5mm30μm? & aboveBelow20nmSide
MTPA-2601SRPA60x60mm±6.5mm30μm? & aboveBelow20nmSide
MTPA-2601SRZPA60x60mm±6.5mm30μm? & aboveBelow20nmSide
MTPA-2601SZPA60x60mm±6.5mm30μm? & aboveBelow20nmSide


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