主動阻尼裝置

主動振動接收器

你們是否擁有高度精密和非常敏感的設備，如顯微鏡、檢測設備、成像系統(tǒng)或拋光機，并且使用主動或被動隔離平臺是否不足?

可能是局部/全局共振降低了隔離系統(tǒng)的性能，因為它不夠剛性，或者因為攝動源位于隔離部分。

在這種情況下，我們的主動阻尼裝置通過在大多數(shù)不需要的機械共振中引入結(jié)構(gòu)阻尼提供了一種解決方案。無需重新設計，即可實現(xiàn)高達15%的結(jié)構(gòu)阻尼。與被動阻尼器相比，ADD阻尼器重量輕，對支撐結(jié)構(gòu)的動態(tài)變化不敏感。

典型用途

• 為提高性能(微光刻機、顯微鏡、芯片制造或檢測機等)而減少隔離機器的結(jié)構(gòu)振動
• 機床顫振減小
• 改進了印刷過程的覆蓋層
• 造紙廠軋輥防排料

好處

• ADD減振是一個非侵入式的過程。不需要進行結(jié)構(gòu)修改。該設備不會降低目標結(jié)構(gòu)的靜強度或剛度
• 諧振頻率的變化不影響ADD的性能
• ADD的性能是一個附加過程，所以在結(jié)構(gòu)或機器上安裝的設備越多，減少的振動就越多
• ADD不需要調(diào)諧到各自的目標共振
• 與被動調(diào)諧質(zhì)量阻尼器相比，ADD通常更輕，性能更好
• Micromega Dynamics在ADD的設計，制造和安裝方面擁有超過20年的經(jīng)驗

使用案例：

半導體檢測機穩(wěn)定時間改進