比利時(shí) Micromega Dynamics SA 結(jié)構(gòu)監(jiān)控和傳感系統(tǒng) 振動(dòng)傳感器和記錄器 主動(dòng)阻尼裝置

主動(dòng)阻尼裝置

主動(dòng)振動(dòng)接收器

 

你們是否擁有高度精密和非常敏感的設(shè)備，如顯微鏡、檢測(cè)設(shè)備、成像系統(tǒng)或拋光機(jī)，并且使用主動(dòng)或被動(dòng)隔離平臺(tái)是否不足?

可能是局部/全局共振降低了隔離系統(tǒng)的性能，因?yàn)樗粔騽傂裕蛘咭驗(yàn)閿z動(dòng)源位于隔離部分。

在這種情況下，我們的主動(dòng)阻尼裝置通過(guò)在大多數(shù)不需要的機(jī)械共振中引入結(jié)構(gòu)阻尼提供了一種解決方案。無(wú)需重新設(shè)計(jì)，即可實(shí)現(xiàn)高達(dá)15%的結(jié)構(gòu)阻尼。與被動(dòng)阻尼器相比，ADD阻尼器重量輕，對(duì)支撐結(jié)構(gòu)的動(dòng)態(tài)變化不敏感。

典型用途

  • 為提高性能(微光刻機(jī)、顯微鏡、芯片制造或檢測(cè)機(jī)等)而減少隔離機(jī)器的結(jié)構(gòu)振動(dòng)
  • 機(jī)床顫振減小
  • 改進(jìn)了印刷過(guò)程的覆蓋層
  • 造紙廠軋輥防排料

 

好處

  • ADD減振是一個(gè)非侵入式的過(guò)程。不需要進(jìn)行結(jié)構(gòu)修改。該設(shè)備不會(huì)降低目標(biāo)結(jié)構(gòu)的靜強(qiáng)度或剛度
  • 諧振頻率的變化不影響ADD的性能
  • ADD的性能是一個(gè)附加過(guò)程，所以在結(jié)構(gòu)或機(jī)器上安裝的設(shè)備越多，減少的振動(dòng)就越多
  • ADD不需要調(diào)諧到各自的目標(biāo)共振
  • 與被動(dòng)調(diào)諧質(zhì)量阻尼器相比，ADD通常更輕，性能更好
  • Micromega Dynamics在ADD的設(shè)計(jì)，制造和安裝方面擁有超過(guò)20年的經(jīng)驗(yàn)

 

使用案例：

半導(dǎo)體檢測(cè)機(jī)穩(wěn)定時(shí)間改進(jìn)

 


Related posts