銫離子槍 堿性離子槍 5eV – 5keV Ion Guns Model 1403Cs – Cesium/Alkali Ions 束斑可調(diào)

Nonsequitur 銫離子槍 堿性離子槍設(shè)計特點

  • 用戶可更換Frit離子源以產(chǎn)生各種離子
  • 光斑可調(diào) 75um to >1mm for spatially defined sputtering
  • 連續(xù)可變束流能量，最高 5keV
  • 使用光束彎曲光學(xué)元件進行中性種抑制
  • BTOF SIMS的光束消隱能力
  • 集成束流監(jiān)控能力
  • 可選光束束電極
  • 采用適合超高真空和耐蝕刻的材料
  • 用于減小光斑尺寸的透鏡偏轉(zhuǎn)
  • 差速泵，以盡量減少主腔室氣體負載

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