Nonsequitur 離子槍離子源 Ion Guns Model 1407 設計特點
- 緊湊型離子源，雙等離子發射器
- 可調節的束斑， ≥ 15μm ，用于空間定義的濺射
- 可調節發射，提供穩定的束流，前面板可調動態范圍 x300
- 連續可變電子束能量，最高達 5keV
- 用于電子束掃描和校正的雙電極
- 用于減小束斑大小的預目標透鏡偏轉
- 集成束流大小監測
- 燈絲不直接到樣品，避免不必要的樣品污染
- 可更換電子束修剪孔徑板，典型使用壽命> 500 hours
- 提供雙燈絲備份
- 內部源壓力傳感器，允許監控離子源壓力
- 采用適合超高真空和耐蝕刻的材料
- 差速泵，以盡量減少主腔室氣體負載
- 在惰性氣體下運行
