Nonsequitur 1402低能量離子槍,連續(xù)可變光束能量高達 5keV
Nonsequitur Technologies 1402 型離子槍具有在極低光束能量下具有高光束電流的特點。它也可以在高光束能量（高達 5keV）下運行，以提供額外的深度剖析和樣品清潔能力。可能的應(yīng)用包括電荷補償、離子散射和離子/固體相互作用的研究。
Nonsequitur Technologies離子產(chǎn)生是通過雙燈絲的電子碰撞電離實現(xiàn)的，無需打破系統(tǒng)真空即可延長離子源壽命。細(xì)絲位于離軸位置，以防止細(xì)絲材料在視線上沉積到樣品上。
Nonsequitur 1402低能量離子槍特點：
高亮度電子碰撞源，可最大程度地去除散裝材料
發(fā)射調(diào)節(jié)轟擊提供穩(wěn)定的離子電流，前面板可調(diào)節(jié)動態(tài)范圍 x300
連續(xù)可變光束能量高達 5keV
可更換光束調(diào)整孔徑，典型使用壽命為 > 500 小時
雙線材提供運行備份，典型的線材使用壽命> 500 小時
制造中使用的所有 UHV 兼容和抗蝕刻材料
差壓泵送，以最大限度地減少主室氣體負(fù)荷
可在惰性氣體種類范圍內(nèi)運行，氧氣和可選的 Thoria 燈絲
Nonsequitur 1402低能量離子槍規(guī)格：
元件 | 描述 |
|---|---|
工作距離 | 20 毫米 |
光束能量 | 10eV 至 5keV 連續(xù)可變 |
柵格大小 | 7 x 7 毫米（最小） |
安裝法蘭 | 70 毫米（2.75 英寸）外徑 CF |
差速泵送 | 70 毫米（2.75 英寸）外徑 CF |
供氣入口 | 34 毫米（1.33 英寸）外徑 CF |
源氣 | He， Ne， Ar， Kr， Xe |
烘烤溫度 | 最高 100 °C |
Nonsequitur 1402低能量離子槍性能：
能源 | 光斑尺寸 （μm FWHM） | 束流 （μA） | 電流密度 （mA/cm2） |
|---|---|---|---|
100 eV | 1000 | 2 | 0.25 |
500 eV | 1000 | 4 | 0.5 |
1kV | 750 | 5 | 1.1 |
3kV | 400 | 8 | 4 |
