Novascan,PSDP-UVT,臺式紫外線清洗機(jī),配備加熱樣品臺
PSDP-UVT – 臺式紫外線清潔機(jī)配備加熱樣品臺
PSDP-UVT Pro 系列結(jié)合了 PSD 和 PSDP UV 系統(tǒng)的優(yōu)點(diǎn)，并通過 PID 控制的加熱樣品臺增強(qiáng)了熱輔助紫外線處理功能。PSDP-UVT 熱輔助系統(tǒng)適用于廣泛的應(yīng)用，例如熱增強(qiáng)的紫外線固化、紫外線圖案化、晶圓清潔、熱增強(qiáng)的光刻膠剝離、熱增強(qiáng)的 PDMS 粘合、制造和微流控技術(shù)、AFM 探針清潔、熱增強(qiáng)的臭氧蝕刻等。PSDP-UVT 系統(tǒng)常用于電子、半導(dǎo)體、光學(xué)、材料科學(xué)、生物學(xué)、化學(xué)、制藥、生物傳感器和納米技術(shù)等行業(yè)。
PSDP-UVT 系列添加的熱輔助紫外線功能提升了清潔、剝離、氧化、化學(xué)反應(yīng)和催化過程的效果。
PSDP-UVT Pro 系統(tǒng)的尺寸范圍從適用于較小樣品（如 AFM 探針和顯微鏡載玻片）的 4×4 英寸 UV 系統(tǒng)，到可以處理多個晶圓或 LCD 面板的大型 12×16 英寸 UV 系統(tǒng)。更大的系統(tǒng)可通過定制訂單提供。
有關(guān) UV 清潔機(jī)型號、樣品尺寸和系統(tǒng)價格的信息，請?zhí)顚懕卷撁娴撞康摹奥?lián)系我們”部分。
特點(diǎn)：
- 熱輔助紫外線處理，用于增強(qiáng)清潔、化學(xué)改性、催化反應(yīng)、熱退火、薄膜應(yīng)用、光刻膠剝離等
- 數(shù)字控制的加熱樣品臺，溫度最高可達(dá) 200°C
- UV 燈發(fā)出 185nm 和 254nm 的紫外線
- 在大氣壓力下使用，適用于環(huán)境空氣或氧氣
- 多個氣體端口用于氣體引入
- 可調(diào)樣品與燈之間的距離
- 安全開關(guān)防止用戶暴露于紫外線下
- 操作簡單，占地面積小
- 一流的技術(shù)支持和客戶服務(wù)
適用基材：
- 硅
- 砷化鎵
- 玻璃
- 石英
- 云母
- 藍(lán)寶石
- 金屬
- 陶瓷
- 高分子
- 光刻膠
常見 UV/臭氧應(yīng)用：
- AFM 探針清潔 / 尖端銳化
- 半導(dǎo)體表面氧化和預(yù)處理
- 清潔鏡頭和光學(xué)器件
- 改善表面潤濕性
- 清潔石英和陶瓷表面
- 薄膜沉積準(zhǔn)備
- 紫外線固化
- 表面圖案化
- 臭氧蝕刻
- 熱輔助紫外線 O3 退火
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