Prevac厚度監控控制器TMC13最新技術的電子設備，設計用于監測和控制任何涂層和沉積過程。多達六個通道輸入和兩個額外的真空計通道以及7”TFT顯示屏使該單元真正成為獨一無二的通用設備。
特征
- 多達6個通道，用于帶石英天平的厚度監控傳感器
- 2D實時圖表模塊
- 大多數主動真空計的兩個輸入
- 多達8個快門和I/O可重新編程
- 繼電器輸出
- Rwo可重編程模擬輸出，用于16位分辨率的速率和厚度監控
- 工業標準6 MHz晶體
- 頻率分辨率:0.1赫茲(TM13)或0.01赫茲(TM14)
- 操作最多兩個多晶傳感器頭(氣動或步進電機)
- 緊湊的設計
- 一鍵式材料更換
- 常用材料的收藏夾列表
- 一觸式裝置改變
- 保存個人用戶配置文件
- 內置視頻教程
- LabVIEW庫
傳感器輸入可以分配給不同的材料，并帶有單獨的參數。DSP處理器控制的高速高精度測量過程提高了薄膜質量和重復性。它還帶來了準確性，穩定性和儀器配置的特點。自動保存功能，用于保存您的參數/單位預設，并在重啟后自動應用。
專用于精確速率測量的可用軟件。記錄石英諧振器的頻率隨時間的變化(以圖表的形式)。允許用戶從選定的時間間隔計算蒸發率。適用于MBE等應用。
| Supply voltage | 100-240 VAC, 50/60 Hz (power consumption max 100 W) |
| TM sensor inputs channels | 6 |
| Thickness | 0 – 9999000 ? |
| Rate | 0 – 9999 ?/s |
| Compatible sensors (two channels) | CTR90, TTR91, TTR211, PTR225, PTR90, ITR90, ITR100, Baratron, ANALOG IN, MKS937A, PG105, MG13/14, PKR251/360/361, PCR280, ATMION |
| Frequency resolution | TM13: 0.1 Hz |?TM14: 0.01 Hz |
| Frequency range | 2-6 MHz |
| Thickness resolution | TM13: 0.1 ? |?TM14: 0.01 ? |
| Rate resolution | TM13: 0.1 ?/s |?TM14: 0.01 ?/s |
| Frequency stability | TM13: 0.5 ppm |?TM14: 0.5 ppm |
| Tooling factor | 1 – 400% |
| Measurement units | ?, k?, nm |
| Measurement period | 100 ms – 2 s (depend on TM type) |
| Shutter control | manual, time, thickness |
| Shutter time | 1 – 1000000 s |
| Pressure channels inputs | 2 |
| Measurement units | mbar, Pa, Torr, Psia |
| Degas time | 1 – 3 min |
| Output | ▪ 8 relay outputs (2 outputs with COM NC and NO contacts) ▪ 2 analog outputs: 0-10V (retransmision thickness, rate, pressure) |
| Inputs | 4 digital inputs (in 24V logic) |
| Communication interface | RS232/485, Ethernet |
| Communication protocol | MODBUS-TCP |
| User interface | 7″ TFT display with touchscreen |
| Interface languages | English, German, Polish |
| Dimensions | 212.6 x 128.4 x 260.9 mm (W x H x D) |
| Weight (approx.) | 3 kg |
