Prevac TSP UHV泵、鈦升華泵

鈦升華泵(TSP)是真正的UHV泵。這種泵的主要優(yōu)點是簡單、便宜并且可以產(chǎn)生高的泵送速度。TSP由3根可移動的發(fā)夾狀細絲組成。它們由鈦和鉬合金制成，安裝在一個簡單的低電阻載體上。

來自外部電源的高電流通過燈絲，使其發(fā)出熾熱的紅光。在此溫度下，鈦直接從燈絲升華，然后蒸發(fā)物覆蓋在室壁附近。

為了提高泵送速度，TSP可以配備液氮屏蔽
可用于不同方向的版本