電子束流監測器 能夠測量MBE應用中的束流等效壓力（BEP）。
描述
它通常安裝在線性移位/z臺上，以允許燈絲靠近基板，并在待機位置時包括一個保護罩。
讀數和完全控制（設備狀態、Z軸移動）由專用軟件應用程序和離子多表控制器提供。應用程序可以與Synthesium（先進的沉積軟件工具）集成。
特性
BEP測量
離子電流測量[nA單位]
選項
機動化
定制插入長度
技術參數
| Mounting flange | DN 63CF (non-rotatable) |
| Measurement system | Bayard-Alpert ion gauge |
| Measurement range | 10-3?to?2×10-11?Torr |
| Linear stroke | 150 mm (other on request) |
| Max. outer diameter | 63 mm |
| Filament | dual filament, ytrium coated iridium |
| Controller | 3 channel MG15 – communication interface: RS232/485, Ethernet, PROFINET (option – specify at order) |
| Bakeout temperature | up to?200 °C |
