位于真空室內的水平和垂直百葉窗通過單軸機械手平移，以調整光束橫截面的形狀。診斷系統包括光束強度和光束位置的全自動高精度監視器，它利用光電二極管或金網。光束輪廓成像由熒光檢測器執行。系統還可以配備溫度傳感器。

診斷強度監視器允許測量光發射電流并施加極化電壓。

腔室可以有一個花崗巖塊來降低振動水平。

所有機械手都是電動和軟件控制的。

百葉窗可帶或不帶水冷。表面可以涂上熒光材料?？筛鶕筇峁┎煌牟牧虾托螤睢?/span>