多軸 （X、Y、Z1、Z2、R1、R2、R3） 電動機械手設計用于在超高真空條件下精確定位樣品架。

研究臺可以沿 XYZ 軸移動，繞 Z 軸旋轉，以及在 +/- 3° 范圍內相對于兩個正交方向傾斜。第二個 Z 移動可以在實驗時進行額外的精確樣品定位。它配備了溫度監控系統。這些機械手標配了傾角計。