描述

用于以下研究的多功能特高壓系統：

• 電子和光子與來自（超音速）交叉分子束的原子、分子和簇的相互作用
• 各種等離子放電
• 加速原子、分子和帶電粒子與表面的相互作用
• 表面吸附/解吸過程
• 薄膜沉積
• 原位測定薄膜的幾何形狀、結構、組成和性能

規格

每個室和分析室之間的原位樣品轉移。配備組合電子光譜技術（Auger、XPS、UPS
） 帶脈沖噴嘴源的噴嘴室 (NC) 用于超音速分子束 (SMB) 生產，包括：

• 脈沖噴嘴 -（壓力高達 10 bar，開啟時間 0.1 – 10 毫秒，頻率 1-100Hz）
• 真空條件下沿 X（最大 70 毫米）、Y（最大 10 毫米）和 Z（最大 10 毫米）的噴嘴傳輸系統
• 固定撇渣器
• 藍寶石窗口 (DN 64 – 100)
• 與真空紫外光譜儀連接的中間裝置
• NC 連接到單獨的真空室，用于初始氣體混合物制備（壓力 0.001 – 1500 Torr）
• 中間室 (IC)
• TOF 質譜儀的離子光學系統。TOF m/s – 1-10 000 amu M/dM ~ 2000
• 藍寶石窗口 (DN 64-100)
• 電子槍（Uak= 0-300 V，HW= 0.1 eV）
• TPD/S 光譜儀（樣品的時間程序加熱 + 四倍 m/s） – 精確的可移動樣品架，可將樣品安裝在分子束軸上
• 將樣品從 IC 移至分析室 (AC) 的傳輸系統
• 用于薄膜沉積的積液池
• 離子槍（清潔樣品表面）