PREVAC 高壓光電子能譜系統(tǒng)用于在壓力范圍2×10^-9 mbar至50 mbar內(nèi)進(jìn)行光電子能譜實(shí)驗(yàn)，具有可控樣品溫度。PREVAC 高壓光電子能譜系統(tǒng)適用于在超高真空（UHV）或環(huán)境壓力條件下對廣泛的納米材料進(jìn)行分析。
PREVAC 高壓光電子能譜系統(tǒng)包括一個(gè)分析腔室和一個(gè)負(fù)載鎖腔室，以便于快速、便捷地加載樣品。系統(tǒng)提供完整的PLC保護(hù)和軟件控制，包括對機(jī)器狀態(tài)的清晰可視化、數(shù)據(jù)采集以及對所有集成設(shè)備、電源和輔助設(shè)備的控制。
PREVAC 高壓光電子能譜系統(tǒng)分析腔室配備了符合超高真空（UHV）標(biāo)準(zhǔn)的連接法蘭，可用于連接當(dāng)前和未來的設(shè)備，包括：
高壓半球形能量分析儀及其設(shè)備
高壓X射線雙陽極單色源及其電源
高壓X射線雙陽極非單色源及其電源
帶電源的紫外單色光源
帶電源的紫外光源
帶電源的泛射源
帶電源的電子源
帶電源的離子源，用于深度剖析或清潔
帶電源的氣體簇離子源
溫度范圍廣的樣品操控器（從液氦/液氮到1400?C）
抽氣裝置（基于備份泵、渦輪分子泵、離子泵和帶大面積液氮冷罩的鈦升華泵）
配備設(shè)備的真空計(jì)
用于線性傳輸系統(tǒng)的入口端口，例如從負(fù)載鎖到分析腔室
用于樣品夾持器的負(fù)載鎖腔室
觀察窗口
殘余氣體分析儀
最終設(shè)計(jì)和功能取決于系統(tǒng)配置。泵系統(tǒng)是不同類型泵的組合，例如前級(jí)泵、離子泵、渦輪分子泵或帶大面積液氮冷罩的鈦升華泵，根據(jù)具體應(yīng)用需求單獨(dú)選擇，以實(shí)現(xiàn)最佳泵送性能。
如有需要，系統(tǒng)的模塊化設(shè)計(jì)允許通過徑向分布傳輸解決方案或傳輸通道與任何其他研究平臺(tái)進(jìn)行組合和集成。Spectrium分析控制軟件允許半球形能量分析儀與各種類型的光源完美集成與協(xié)作，支持輕松編寫操作流程、自動(dòng)測量控制和廣泛的數(shù)據(jù)記錄。該軟件還允許基于Tango開源設(shè)備集成新的附加組件。
PREVAC 高壓光電子能譜系統(tǒng)適用于以下領(lǐng)域的大多數(shù)研究需求的標(biāo)準(zhǔn)解決方案：
XPS / UPS / ARPES / AES / EELS / ISS / IPES / LEIPS 技術(shù) | 超高真空（UHV）條件
HPXPS / APXPS / APUPS 技術(shù) | 環(huán)境壓力條件
實(shí)驗(yàn)過程的全自動(dòng)化
回填配置
高壓半球形能量分析儀 EA15-HP5 / EA15-HP50 及其設(shè)備
高壓高功率雙陽極X射線源，帶單色器（AlKα 和 AgLα），帶電源
高壓高功率雙陽極非單色X射線源（AlKα 和 MgKα），帶電源
帶電源的紫外光源
帶電源的泛射源
用于深度剖析或清潔的離子源
電動(dòng)或手動(dòng)4-6軸操控器，接收站可實(shí)現(xiàn)從液氦/液氮到高達(dá)1400°C的溫度
不同尺寸的樣品夾持器：從10×10 mm到2英寸
分析腔室直徑 ? 310 mm
基本壓力降至10^-9 mbar（取決于泵的配置）
抽氣系統(tǒng)（基于備份泵、渦輪分子泵和鈦升華泵，帶冷凍罩）
全自動(dòng)氣體加注系統(tǒng)
配備設(shè)備的真空計(jì)
用于樣品夾持器的負(fù)載鎖腔室
從負(fù)載鎖到分析腔室的可靠且快速的線性傳輸系統(tǒng)
觀察窗口，配有攝像頭
烘烤系統(tǒng)
可調(diào)節(jié)的系統(tǒng)剛性主框架
帶電子單元的19英寸機(jī)柜
由Spectrium軟件和PLC單元完全控制的分析過程和設(shè)備
