PREVAC UHV-HP AFM System UHV-HP原子力顯微鏡分析系統(tǒng)
UHV-HP AFM平臺是用于在寬壓力范圍內(nèi)工作的原子力顯微鏡的獨特分析系統(tǒng)。它專注于高度靈活的樣品環(huán)境,專用于氣固界面的前沿研究。該系統(tǒng)配備了快速進(jìn)入的負(fù)載鎖定和準(zhǔn)備室。
- AFM腔室-由不銹鋼制成,帶有用于當(dāng)前和其他設(shè)備的不同尺寸的連接法蘭。工作壓力范圍為1 atm至UHV(在150oC烘烤后),
- 用于AFM模塊的特殊滑軌,以方便檢修顯微鏡,
- 加載鎖定室允許加載和存儲多達(dá)4個標(biāo)志式樣品架和4個懸臂(針尖),
- 帶四軸機械手的兩級準(zhǔn)備室(集成石英天平,加熱可能性高達(dá)1000°C),
- 配備電子束蒸發(fā)器EBV?40A1和離子源IS 40C1的制備室,用于樣品表面清潔,
- 特殊設(shè)計的抽氣系統(tǒng)–真空泵和渦輪分子泵的隔振,
- 沉積速率測量系統(tǒng)TMC13和樣品加熱電源HEAT3-PS,用于控制和穩(wěn)定樣品的溫度,
- 整個抽氣和加氣系統(tǒng)均由PLC控制器控制,
- 用戶友好的線性傳輸系統(tǒng)。