iVacSens™系列真空傳感器模塊是世界上最小的寬范圍多功能組合真空計(jì)，設(shè)計(jì)用于集成在OEM設(shè)備中。iVacSens™基于破紀(jì)錄且久經(jīng)考驗(yàn)的SmartPirani™ MEMS熱損失傳感器，與傳統(tǒng)的皮拉尼線、傳統(tǒng)MEMS Pirani和對(duì)流計(jì)相比，該傳感器具有一流的性能、更寬的測(cè)量范圍和更高的精度。

超緊湊的設(shè)計(jì)和低功耗使其對(duì)便攜式質(zhì)譜儀或檢漏儀等電池供電設(shè)備具有吸引力。

VPi-4 傳感器模塊

• 測(cè)量范圍 1×^10-6?至 13.33 mbar（7.5×^10-7?至 10 Torr）
• 具有 1E-6 mbar 測(cè)量能力的一流?MEMS Pirani 傳感器
• 模擬和數(shù)字輸出

VPi-5 傳感器模塊

• 測(cè)量范圍 1×^10-6?至 1,333 mbar（7.5×^10-7?至 1,000 Torr）
• 超寬范圍和高性能一流的MEMS皮拉尼傳感器
• 2 至 1,333 mbar 的精密氣體獨(dú)立膜片傳感器。

VPi-7 傳感器模塊

• 測(cè)量范圍 1×^10-6?至 1,333 mbar（7.5×^10-7?至 1,000 Torr）
• 超寬范圍和高性能一流的MEMS皮拉尼傳感器
• 2 至 1,333 mbar 的精密氣體獨(dú)立膜片傳感器。
• 大氣切換功能和表壓測(cè)量輸出