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VPM-5 SMARTPIRANI™ 寬量程真空傳感器
1×10-6?至 1333 mbar / 7.5×10-7?至 1000 Torr / 1×10-4?至 1.333×105 Pa
下一代 MEMS 皮拉尼傳感器
- 測量范圍為 1×10-6?至 1333 mbar（7.5×10-7?至 1000 Torr）
- 超寬范圍高性能 MEMS 皮拉尼傳感器
- 無與倫比的性價比
- 2 至 1333 mbar 的精確氣體非依賴型測量
- 可安裝在任何方向，而不會影響性能。
- 可編程電壓輸出信號，可與其他供應商仿真
- 數字 RS-232 或 RS-485 接口
- 用于真空過程控制的三個固態設定點
- 用于腐蝕性應用的可選陶瓷或聚對二甲苯傳感器保護
- MKS 925 MicroPirani™ 和 910 的直接替代品
- 堅固、緊湊的不銹鋼法蘭和外殼設計
VPM-5 SmartPirani™ 真空傳感器基于尖端技術，提供一流的性能，并將熱導式真空計的可用真空測量范圍延長了 1-3 個數量級，從而建立了新的性能標準。
SmartPirani™ 真空測量傳感器采用尖端的?MEMS（微機電系統）傳感器技術，并結合了新穎的精密數字信號處理架構和只有 Sens4 才能提供的先進創新測量算法。結合精密的自動化制造和校準過程，這款獨特的產品提供了無與倫比的測量性能。
通過集成 MEMS 隔膜傳感器，消除了熱導率計粗真空范圍內眾所周知的氣體依賴性，該傳感器的精度性能可與更昂貴的電容壓力計相媲美。此功能可確保更精確地控制真空系統的排氣過程，并防止真空系統過壓。
無與倫比的范圍和精度
與其他供應商的傳統線皮拉尼和 MEMS 皮拉尼傳感器相比，SmartPirani™ 的基本精度和動態范圍更勝一籌。在某些應用中，超寬的測量范圍消除了對額外昂貴的高真空電離計的需求。
可編程傳感器設置和參數
傳感器設置和參數可通過創新的?S4-Connect™?數字通信接口從 PC 或智能手機進行編程。帶有 RS-232 或 RS-485 串行接口的傳感器可以通過串行接口或 S4-Connect™ 接口進行配置。數字界面支持診斷、預測性維護、服務、校準、設定點配置、模擬輸出縮放和實時真空壓力測量采集，以實現屏幕可視化。S4-Connect™ USB 編程器與免費、直觀的配置軟件相結合，是用于傳感器編程、實時測量和診斷的即插即用解決方案。
可用于要求苛刻的應用
對于傳感器可能暴露于腐蝕性或腐蝕性氣體中的應用，SmartPirani™ 可提供保形保護涂層，作為有效的屏障。
根據應用的不同，SmartPirani™ 傳感器系列現在可選配陶瓷或聚對二甲苯保護屏障，防止傳感器材料腐蝕或氧化。
陶瓷具有很強的耐腐蝕性，是電容式隔膜表中真空傳感器隔膜的成熟材料。
聚對二甲苯是一種獨特的聚合物，具有高度的耐腐蝕性和疏水性。聚對二甲苯阻隔層專為醫療應用而設計，包括但不限于凍干和滅菌。
在某些真空過程中，顆粒會損壞真空計，對于這些應用，SmartPirani™ 傳感器配有保護擋板，作為宏觀顆粒的屏障。
結合保護涂層選件，新型 SmartPirani™ 傳感器適用于惡劣的真空環境.
