代理 SENS4 VPM-15 帶數字和模擬接口的寬量程真空壓力傳感器
SENS4 TriCAP™ 多傳感器傳感器
SENS4 帶數字和模擬接口的寬量程真空壓力傳感器
SENS4 VPM-15 真空壓力傳感器
- 測量范圍 1×10-6?至 1333 mbar（7.5×10-7?至 1000 Torr）
- 不受氣體影響的測量范圍為 5E-3 至 1333 mbar
- 采用一流的?MEMS 皮拉尼傳感器實現低壓測量能力
- 數字?RS-232 或 RS-485 接口和可編程電壓輸出。
- 三個固態設定點，實現可靠的過程控制??
- 用戶可通過 RS-232、RS-485 或?S4-Connect™?進行編程
- 堅固的不銹鋼法蘭和外殼設計
- 引腳和輸出與其他供應商的儀表兼容
多合一多傳感器傳感器解決方案
SENS4 VPM-15 TriCAP™ 傳感器為各種真空應用提供一體化寬量程測量解決方案，樹立了新標準。它與任何其他真空計的不同之處在于，它提供從 5.0E-3 到 1333 mbar 的整體成本效益和不受氣體影響的測量，并結合熱損失原理進行低至 1E-6 mbar 的測量。
集成的熱損失 MEMS 皮拉尼傳感器將測量范圍擴展到 1E-6 mbar，并為電容壓力計提供了一種新穎的自動零點調整功能，消除了傳統電容隔膜表手動調零的常見需求。
重新思考真空測量
SENS4 VPM-15 TriCAP™ 是一款真正新穎的多傳感器真空計，是傳統皮拉尼真空計應用性能升級的選擇，也是使用單獨電容壓力計和皮拉尼真空計的應用的成本優化的一體化解決方案。
可編程傳感器設置和參數
SENS4用戶可對傳感器設置和參數進行編程，以控制真空系統和應用過程參數。
數字 RS-232 或 RS-485 串行接口可用于診斷、預測性維護、服務、校準、設定點配置、模擬輸出縮放以及實時真空壓力測量的采集，以實現屏幕可視化。
串行 USB 編程器與免費、直觀的配置軟件相結合，是用于傳感器編程、實時測量和診斷的即插即用解決方案。
污染遏制
顆粒污染可能發生在真空爐和物理氣相沉積系統等應用中。可選的擋板附件可以防止此類顆粒到達傳感器元件，從而延長維護間隔和產品整體使用壽命的時間。
可以拆下擋板進行污染檢查、清潔或更換。
通過可靠且強大的設定點繼電器控制來控制真空壓力
在許多真空應用中，需要準確可靠地控制多個真空壓力參數。VPM-15 TriCAP™ 傳感器具有三個獨立的固態開關繼電器，可配置為控制閥門、泵或其他過程設備。
與傳統的機電繼電器相比，固態繼電器提供卓越的可靠性和更快的開關時間，同時提供無電弧觸點，并且在切換觸點時不會產生 EMI（電磁干擾）。VPM-15 TriCAP™ 控制繼電器經久耐用，經過 UL 認證、CSA 認證和 EN/IEC 60950-1 認證，在用于控制關鍵真空過程和高循環應用時具有最大的信心。
對于需要大氣切換功能的應用，如負載鎖定真空系統，SENS4 VPM-17 TriCAP™ ATM 提供與SENS4? VPM-15 TriCAP™ 相同的性能、特性和功能，但具有額外的精密大氣切換功能。
