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VPM-4 SMARTPIRANI™ LT 真空傳感器
1×10-6?至 13 毫巴 / 7.5×10-7?至 10 托 / 1×10-4?至 1.333×10+3 帕
下一代 MEMS 皮拉尼傳感器
- 測量范圍為 1×10-6?至 13.33 mbar（7.5×10-7?至 10 Torr）
- 超寬范圍高性能 MEMS 皮拉尼傳感器
- 先進的創新數字信號處理
- 可安裝在任何方向，而不會影響性能。
- 可編程電壓輸出信號，可與其他供應商仿真
- 數字 RS-232 或 RS-485 接口
- 低壓真空開關
- 用于真空過程控制的三個固態設定點
- 10 bar （145 psi） 的高過壓容限
- 堅固、緊湊的不銹鋼法蘭和外殼設計
可編程傳感器設置和參數
傳感器設置和參數可由用戶通過 PC 或智能手機通過數字通信接口進行編程。帶有 RS-232 或 RS-485 串行接口的傳感器可以通過串行接口或 S4-Connect™ 接口進行配置。數字界面支持診斷、預測性維護、服務、校準、設定點配置、模擬輸出縮放和實時真空壓力測量采集，以實現屏幕可視化。S4-Connect™ USB 編程器與免費、直觀的配置軟件相結合，是用于傳感器編程、實時測量和診斷的即插即用解決方案。
擋板選項可防止污染
SmartPirani™ 傳感器系列配備專為 PVD 應用設計的用戶可清潔集成顆粒擋板系統。擋板系統設計用于阻擋顆粒，同時確保足夠高的真空氣體電導率并防止顆粒堵塞。創新的擋板功能可以增加維修間隔時間并增加設備正常運行時間。此外，在某些 PVD 應用中，SmartPirani™ 的擴展范圍消除了對冷陰極真空計進行極限壓力驗證的需求。
通過可靠且強大的設定點繼電器控制來控制真空壓力
SmartPirani™ LT 真空傳感器配有三個獨立的固態開關繼電器，可用于泵、閥門、安全聯鎖電路和其他外部設備的外部控制。基本控制使用具有可編程設定點和滯后值的開/關調節。每個固態繼電器都提供常閉和常開觸點。
與機電繼電器相比，固態繼電器具有卓越的可靠性和更快的開關時間，同時提供無電弧觸點，并且在切換觸點時不會產生 EMI（電磁干擾）。
SmartPirani™ 繼電器經久耐用，經過 UL 認證、CSA 認證和 EN/IEC 60950-1 認證，在用于控制關鍵真空過程和高循環應用時具有最大的信心。
對于需要大氣開關功能的應用，如負載鎖定真空系統，VPM-7 SmartPirani™ ATM?提供與 VPM-5 相同的性能、特性和功能，但具有額外的精密大氣開關功能。
用于外部讀數的模擬電壓輸出
盡管 SmartPirani™ 真空傳感器具有先進的功能和智能數字技術，但傳感器可以作為獨立的模擬設備運行，提供電壓并返回測量信號。
模擬電壓輸出可通過?S4-Connect™?或 RS-232/RS-485 接口配置為 0-10 VDC 范圍內的任何任意刻度。模擬輸出縮放功能可在有限的壓力范圍內放大信號。
此外，還提供多種模擬輸出縮放選項，以模擬其他供應商的真空計和傳感器。
自定義設置
SmartPirani™ 真空傳感器可以定制配置，以滿足特定的應用要求。預配置選項的示例包括測量范圍、真空壓力單位、設定點配置和輸出信號縮放。定制產品將被分配一個唯一的零件編號，以便將來輕松簡單地重新訂購。
