丹麥 SENS4 VPM-4 SMARTPIRANI™ LT 真空傳感器
VPM-4 SMARTPIRANI™ LT 真空傳感器
1×10-6?至 13 毫巴 / 7.5×10-7?至 10 托 / 1×10-4?至 1.333×10+3 帕
下一代 MEMS 皮拉尼傳感器
- 測量范圍為 1×10-6?至 13.33 mbar（7.5×10-7?至 10 Torr）
- 超寬范圍高性能 MEMS 皮拉尼傳感器
- 先進的創新數字信號處理
- 可安裝在任何方向，而不會影響性能。
- 可編程電壓輸出信號，可與其他供應商仿真
- 數字 RS-232 或 RS-485 接口
- 低壓真空開關
- 用于真空過程控制的三個固態設定點
- 10 bar （145 psi） 的高過壓容限
- 堅固、緊湊的不銹鋼法蘭和外殼設計
SENS4 VPM-4 SmartPirani™ LT 傳感器基于創紀錄的 VPM-5 SmartPirani™ 傳感器中使用的熱損失傳感器技術，提供 13 至 1E-6 mbar（10 至 7.5E-7 torr）的測量范圍。
傳感器技術通過將熱導式真空計的可用測量范圍延長了 1-3 個數量級，建立了新的標準。
SENS4 SmartPirani™ 基于尖端的 MEMS（微機電系統）傳感器技術，結合了新穎的精密數字信號處理架構和只有 Sens4 才能提供的先進創新測量算法。
SENS4 SmartPirani™ LT 擴展的測量范圍使其能夠在傳統上由熱陰極電離計或冷陰極電離計主導的范圍內使用。SmartPirani LT 針對低量程測量性能進行了優化，測量上限可達 13 mbar （10 Torr）。
SENS4 SmartPirani™ 傳感器系列還包括全系列 VPM-5 SmartPirani™，可提供 2 至 1333 mbar 的氣體獨立測量，以及?VPM-7 SmartPirani™?ATM，此外還提供大氣開關功能。
可編程傳感器設置和參數
傳感器設置和參數可由用戶通過 PC 或智能手機通過數字通信接口進行編程。帶有 RS-232 或 RS-485 串行接口的傳感器可以通過串行接口或 S4-Connect™ 接口進行配置。數字界面支持診斷、預測性維護、服務、校準、設定點配置、模擬輸出縮放和實時真空壓力測量采集，以實現屏幕可視化。S4-Connect™ USB 編程器與免費、直觀的配置軟件相結合，是用于傳感器編程、實時測量和診斷的即插即用解決方案。
