Sinton Instruments WCT120PL-使用光致發(fā)光傳感器的硅片壽命測(cè)試儀

Sinton Instruments WCT120PL-使用光致發(fā)光傳感器的硅片壽命測(cè)試儀

同時(shí)使用標(biāo)準(zhǔn)光電導(dǎo)( QSSPC)方法,和光致發(fā)光( QSSPL)方法,對(duì)載流子復(fù)合壽命進(jìn)行校準(zhǔn)測(cè)量。

WCT120PL硅片壽命測(cè)試工具包含了WCT120儀器獨(dú)特的測(cè)量和分析技術(shù)的同時(shí),又增加了光致發(fā)光(PL)傳感器,以基于PL信號(hào)測(cè)試壽命和摻雜水平。準(zhǔn)穩(wěn)態(tài)光電導(dǎo)( QSSPC)壽命測(cè)試方法和瞬態(tài)光電導(dǎo)衰減壽命測(cè)試方法都?jí)堅(jiān)鲅a(bǔ)了校準(zhǔn)的基于PL信號(hào)的壽命測(cè)試。也可以簡(jiǎn)單地將工具作為標(biāo)準(zhǔn)的WCT120使用。

主要應(yīng)用

用 QSSPC或瞬態(tài)壽命測(cè)試,以及P壽命測(cè)試,對(duì)制造工藝進(jìn)行逐步監(jiān)控和優(yōu)化。

其他應(yīng)用

  • 監(jiān)測(cè)初始材料質(zhì)量
  • 在硅片加工過程中檢測(cè)重金屬雜質(zhì)污染
  • 評(píng)估表面鈍化和發(fā)射極摻雜擴(kuò)散
  • 使用隱含Voc測(cè)試,估計(jì)加工過程引起的并聯(lián)電阻
  • 基于 QSSPL和 QSSPC數(shù)據(jù)迭代計(jì)算襯底摻雜


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