差分激光干涉儀 SP 5000 DI

高度穩(wěn)定的差分激光干涉儀，具有兩個平行測量光束

• 最高精度的差長或角度測量
• 通過差分測量將環(huán)境影響降至最低
• 傳感器長期熱穩(wěn)定，溫度靈敏度< 20 nm/K
• 可以使用各種光學(xué)反射器，例如球面反射器、平面鏡反射器
• 測量反射鏡的傾斜不變性大
• 標配不銹鋼傳感器頭設(shè)計
• 光束距離： 21 mm
• 廣泛的觸發(fā)選項
• Windows 和 Linux 下 OEM 軟件的開放接口

我們的超穩(wěn)定差分激光干涉儀 SP 5000 DI?具有獨特的熱穩(wěn)定性，因此是研發(fā)中長期測量的首選，例如用于材料性能分析。
與標準干涉儀相比，在差分版本中，參考光束從傳感器頭引出，并與測量光束平行。這一概念允許將傳感器放置在距離實際測量位置更遠的地方，而不會顯著影響測量的分辨率或穩(wěn)定性。該干涉儀的長度分辨率在亞納米范圍內(nèi)，并且由于差分原理，即使在正常的實驗室條件下，也可以在相當(dāng)?shù)臏y量或光束長度下實現(xiàn)。
如果使用傾斜不變反射器進行測量，則長度測量的測量范圍可以是幾米。干涉測量系統(tǒng)采用模塊化設(shè)計，因此可以適應(yīng)相應(yīng)的測量任務(wù)。
調(diào)整很簡單，特別是可以長期穩(wěn)定地實現(xiàn)。基于?SP 5000 DI?干涉儀的干涉多軸系統(tǒng)擴展，可同時進行多坐標測量。

技術(shù)數(shù)據(jù)