納米定位平臺 NPP-1
用于 AFM 的平面激光干涉測量和定位系統
- 最高精度的 2.5 D 定位和測量系統
- 測量和定位范圍：表面 ? 100 mm
- 橫向測量分辨率 ≤ 0.02 nm
- 控制：3 個光纖耦合差分干涉儀
- 使用 633 nm 的 HeNe 激光器作為干涉儀的光源，實現計量重復性。
- 原子力顯微鏡作為探測測量系統，可根據要求提供其他顯微鏡
- 開放式設備架構支持客戶特定傳感器的應用
- NPP-1 通過 PC 軟件進行控制。用戶 API 可用。
NPP-1 納米測量和定位平臺允許在約 100 毫米的范圍內進行定位。用于控制的激光干涉儀的高分辨率、定位天線的剛性結構、定位系統的空氣軸承軸和優化的控制系統允許運動的位置偏差和路徑保真度< 2 nm RMS。
測量對象直接放置在移動鏡上。反射鏡的位置和旋轉是通過干涉測量法檢測的。
該系統使用?SP-DI/F?系列的超穩定干涉儀。來自穩定激光器的光通過光纖從電子單元傳輸到干涉儀頭。這導致了 NPP-1 的緊湊和溫度穩定的設計。
該平臺的有效載荷高達 5 kg，甚至可以使用該平臺高精度定位更大更重的物體。NPP-1 納米定位系統的原理設計為可擴展，因此系統可以根據要求進行定制。
