德國SIOS NPP-1納米定位平臺 用于 AFM 的平面激光干涉測量和定位系統 2024年12月4日 何小姐19375106483（微信同號）納米定位平臺 NPP-1用于 AFM 的平面激光干涉測量和定位系統最高精度的 2.5 D 定位和測量系統測量和定位范圍：表面 ? 100 mm橫向測量分辨率 ≤ 0.02 nm控制：3 個光纖耦合差分干涉儀使用 633 nm 的 HeNe 激光器作為干涉儀的光源，實現計量重復性。原子力顯微鏡作為探測測量系統，可根據要求提供其他顯微鏡開放式設備架構支持客戶特定傳感器的應用NPP-1 通過 PC 軟件進行控制。用戶 API 可用。NPP-1 納米測量和定位平臺允許在約 100 毫米的范圍內進行定位。用于控制的激光干涉儀的高分辨率、定位天線的剛性結構、定位系統的空氣軸承軸和優化的控制系統允許運動的位置偏差和路徑保真度< 2 nm RMS。測量對象直接放置在移動鏡上。反射鏡的位置和旋轉是通過干涉測量法檢測的。該系統使用?SP-DI/F?系列的超穩定干涉儀。來自穩定激光器的光通過光纖從電子單元傳輸到干涉儀頭。這導致了 NPP-1 的緊湊和溫度穩定的設計。該平臺的有效載荷高達 5 kg，甚至可以使用該平臺高精度定位更大更重的物體。NPP-1 納米定位系統的原理設計為可擴展，因此系統可以根據要求進行定制。技術數據應用領域在大空間范圍內以納米級精度對微電子、微機械、光學、微系統技術物體進行定位、操作、處理和測量可以在大面積上進行連續 AFM 掃描開放式設備架構，可使用客戶定制的探測傳感器適用納米結構研究/開發納米定位平臺的測量原理 SIOS SIOS-Me?technik 三光束激光干涉儀 三軸激光干涉儀 位移角差分干涉儀 雙光束激光干涉儀 雙軸激光干涉儀 差分激光干涉儀 校準激光干涉儀 激光干涉儀 遠距離激光干涉儀
