Thermionic HCCS系列緊湊型源10cc電子槍

蒸發源系列:HCCS系列緊湊型源10cc電子槍

我們的HCCS系列緊湊型源在安裝和維修過程中保護發射器和高頻/晶體管免受損壞和短路。H2O冷卻系統增強了熱傳遞，從而提高了速率穩定性并防止了對電子束源的損壞。這種緊湊的來源是為方便安裝而設計的。

HCCS 10 cc如圖:

特點

• 10千瓦(-最大6kV至-10kV)電子槍電源
• 完全屏蔽的發射器和高頻/微波發射器
• 高真空(HV)和超高真空(UHV)兼容
• 低除氣性
• 用于薄膜和其他高精度沉積應用的高純度蒸發。
• 無光束掃描，設計用于金屬材料
• 源閘門(氣動或手動)和高壓饋通
• 緊湊的源可以轉換成1″直徑。桿饋源

規格
工作壓力：為了達到最佳操作效果，最好低于5 x 10-5Torr
發射電壓：-6至-10 kV
發射電流：0至1A
最大功率：10 kW
冷卻水：1.5 gpm
壓差：最小25 psi
最高烘烤溫度。230攝氏度
坩堝體積：10毫升