Thermionics RNN250差動泵送旋轉(zhuǎn)密封
差動泵送旋轉(zhuǎn)密封(rnn)通過UHV系統(tǒng)的真空壁提供360°的連續(xù)旋轉(zhuǎn)自由度。RNN有兩級差動泵送，由特殊密封面上的石墨浸漬膨脹聚四氟乙烯密封隔離。預(yù)載滾珠軸承組精確控制旋轉(zhuǎn)臺位置。
rnn配有蝸桿傳動微調(diào)選項。這允許更容易和更精確的角度調(diào)整。rnn也可采用消隙步進或同步電機驅(qū)動。
列出了內(nèi)徑高達12英寸的rnn。更大的內(nèi)徑具有出色的性能。特殊應(yīng)用請咨詢工廠。
規(guī)范
- 標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)徑為1.53英寸至12英寸的型號，可根據(jù)要求提供更大的尺寸
- 可烘烤至150攝氏度
- 帶螺紋的固定和旋轉(zhuǎn)法蘭
- 厚度約為兩個匯合型法蘭的厚度
- 兩級差動泵送
- 10分鐘后基礎(chǔ)壓力-11托范圍
- 0–360度標(biāo)尺，帶游標(biāo)，標(biāo)準(zhǔn)
RNN-400和更大型號的典型性能規(guī)格
- 分辨率:< 0.004
- 重復(fù)性:< 0.008
- 齒隙:< 0.035
可讀性規(guī)范
- 標(biāo)準(zhǔn)比例:1.0
- 機械計數(shù)器:0.1
- 最大分辨率需要微步電機驅(qū)動
選擇
- 微調(diào)蝸桿傳動
- 微調(diào)時的數(shù)字讀數(shù)，0.1讀數(shù)，機械，不可重置
- 提供機械計數(shù)器選項
- 消隙步進電機驅(qū)動0.018/全步(RNN-150/MS為0.0225/全步)，帶手動旋鈕
- 可定制/FA裝置上的泵出管長度和曲軸長度
有效載荷
下面列出了標(biāo)準(zhǔn)最大有效負(fù)載。在特定應(yīng)用下，可以處理更大的負(fù)載。請向工廠咨詢定制應(yīng)用。
- 有效載荷的重心在該裝置極軸的“X”以內(nèi)，其中X等于RNN內(nèi)徑的10%
- 有效載荷的重心在水平安裝裝置上旋轉(zhuǎn)法蘭的“Y”距離內(nèi)，其中Y是法蘭內(nèi)徑
- 真空外有效載荷的總最大尺寸“A”為:
垂直操作:7 x法蘭外徑。水平操作:5 x法蘭外徑。倒置操作:7 x法蘭外徑。
| 型號 | 垂直的 | 水平的 | 反向的 |
| RNN-150 | 54磅 | 30磅 | 45磅 |
| RNN-250 | 90磅 | 38磅 | 70磅 |
| RNN-400 | 144磅 | 66磅 | 110磅 |
| RNN-600 | 180磅 | 84磅 | 140磅 |
| RNN-800 | 200磅 | 91磅 | 160磅 |
| RNN-1000 | 370磅 | 160磅 | 280磅 |
| RNN-1200 | 430磅 | 200磅 | 350磅 |
有效負(fù)載位置
表1。RNN系列差動泵送旋轉(zhuǎn)密封
(包括一個可拆卸的調(diào)節(jié)扳手)
| 凸緣 外徑 | A | B | C | D | E | F | G | H | 型號 | |
| 1.53 | 2.75 | 4.50 | 2.99 | 1.0 | 3.18 | 2.75 | .49 | .13 | 60 | RNN-150 |
| 1.53 | 2.75/6?1 | 6.00 | 2.99 | 1.34 | 3.33 | 2.75 | .15 | .13 | 45 | RNN-150/6 |
| 2.53 | 4.5 | 5.75 | 3.64 | 1.36 | 3.58 | 4.50 | .49 | .03 | 45 | RNN-250 |
| 2.53 | 4.5/6?1 | 6.00 | 3.64 | 1.52 | 3.71 | 4.50 | .33 | .03 | 45 | RNN-250/6 |
| 4.03 | 6 | 7.75 | 4.57 | 1.68 | 4.34 | 6.02 | .37 | .06 | 45 | RNN-400 |
| 6.03 | 8 | 10.25 | 6.16 | 1.74 | 5.70 | 8.00 | .42 | .13 | 54 | RNN-600 |
| 8.00 | 10 | 12.05 | 7.03 | 1.94 | 6.70 | 10.00 | .42 | .13 | 45 | RNN-800 |
| 10.00 | 13.25 | 15.75 | 8.81 | 2.37 | 8.50 | 13.28 | .29 | .13 | 24 | RNN-1000 |
| 12.00 | 14 | 20.00 | – | 3.34 | – | – | – | – | – | RNN-1200 |
尺寸單位為英寸
1分別表示安裝法蘭尺寸
表二。RNN/FA差動泵送旋轉(zhuǎn)密封，帶微調(diào)1
| 凸緣 外徑 | A | B | C | D | E | F | G | H | I | 比例 | 型號 | |
| 1.53 | 2.75 | 5.13 | 3.38 | 1.00 | 4.95 | 2.75 | .49 | 0.37 | 60 | 3 | 80:1 | RNN-150/FA |
| 1.53 | 2.75/6?2 | 6.00 | 3.84 | 1.34 | 5.32 | 2.75 | .15 | 0.37 | 45 | 3 | 100:1 | RNN-150/6/FA |
| 2.53 | 4.5 | 6.38 | 4.20 | 1.36 | 6.11 | 4.50 | .49 | 0.41 | 45 | 3 | 100:1 | RNN-250/FA |
| 2.53 | 4.5/6?2 | 6.38 | 4.20 | 1.52 | 6.11 | 4.50 | .33 | 0.41 | 45 | 3 | 100:1 | RNN-250/6/FA |
| 4.03 | 6 | 8.50 | 8.25 | 1.68 | 9.28 | 6.02 | .37 | 0.54 | 45 | 4 | 100:1 | RNN-400/FA |
| 6.03 | 8 | 10.25 | 8.50 | 1.74 | 9.93 | 8.00 | .42 | 1.10 | 54 | 5 | 100:1 | RNN-600/FA |
| 8.00 | 10 | 12.75 | 9.56 | 1.94 | 11.50 | 10.00 | .42 | 1.10 | 45 | 5 | 100:1 | RNN-800/FA |
| 10.00 | 13.25 | 17.00 | 11.86 | 2.37 | 17.25 | 13.28 | .29 | .91 | 24 | 7 | 100:1 | RNN-1000/FA |
| 12.00 | 14 | 咨詢工廠 | RNN-1200/FA | |||||||||
尺寸單位為英寸
1微調(diào)裝置采用蝸桿傳動，在RNN-400和更大型號上具有動態(tài)消隙功能。它們帶有大把手和手搖曲柄。
2分別表示安裝法蘭尺寸
表3。RNN/MS或/MY帶消隙的差動泵送旋轉(zhuǎn)密封/MS步進或/MY同步電機驅(qū)動1
凸緣
外徑 | A | B | C | D | E | F | G | H | I |
比例 | 型號 | |
| 1.53 | 2.75 | 5.13 | 10.00 | 1.00 | 9.97 | 2.75 | .49 | 0.74 | 60 | 3.39 | 80:1 | RNN-150/MS或/MY |
| 1.53 | 2.75/6?2 | 5.13 | 10.00 | 1.34 | 9.97 | 2.75 | .15 | 0.74 | 45 | 3.39 | 100:1 | RNN-150/6/MS或/MY |
| 2.53 | 4.5 | 6.38 | 10.10 | 1.36 | 8.30 | 4.50 | .49 | 0.41 | 45 | 3.39 | 100:1 | RNN-250/MS或/MY |
| 2.53 | 4.5/6?2 | 6.38 | 10.10 | 1.52 | 8.30 | 4.50 | .33 | 0.41 | 45 | 3.39 | 100:1 | RNN-250/6/MS或/MY |
| 4.03 | 6 | 8.50 | 9.77 | 1.68 | 11.69 | 6.02 | .37 | 0.54 | 45 | 3.39 | 100:1 | RNN-400/MS或/MY |
| 6.03 | 8 | 10.20 | 10.13 | 1.74 | 11.69 | 8.00 | .42 | 1.10 | 54 | 3.39 | 100:1 | RNN-600/MS或/MY |
| 8.00 | 10 | 12.75 | 11.39 | 1.94 | 11.69 | 10.00 | .42 | 1.10 | 45 | 3.39 | 100:1 | RNN-800/MS或/MY |
| 10.00 | 13.25 | 咨詢工廠 | RNN-1000/MS或/MY | |||||||||
| 12.00 | 14 | 咨詢工廠 | RNN-1200/MS或/MY | |||||||||
| 18.00 | 24 | 咨詢工廠 | RNN-1800/毫秒 | |||||||||
| 24.00 | 34 | 咨詢工廠 | RNN-2400/MS | |||||||||
尺寸單位為英寸
1電機驅(qū)動裝置采用蝸桿傳動，并且都是動態(tài)消隙的，電機后部帶有手動旋鈕
2分別表示安裝法蘭尺寸
選擇
機械計數(shù)器
- 為微調(diào)或電機驅(qū)動裝置增加數(shù)字讀數(shù)
- 0.1讀數(shù)，機械，不可重置
- 從側(cè)面可以看到
- 解決安裝在平臺上的設(shè)備遮擋度盤視線造成的困難
- 當(dāng)選擇/MC選項時，不包括游標(biāo)刻度
閥門歧管系統(tǒng)
- 允許一級泵排空二級泵
- 包括:兩個改進的1.33”外徑法蘭接頭；BVV-025可烘烤閥門；柔性金屬管道
- 在RNN平臺上組裝
2升/秒附件離子泵組件
- 與閥門歧管系統(tǒng)一起使用
- 允許連續(xù)泵送RNN
- 包括鋁鎳鈷磁鐵
- 需要離子泵控制單元
離子泵控制單元
- 用于2升/秒附件離子泵組件
- 電源輸入:115伏交流電，60赫茲或230伏交流電，50赫茲(在訂單中指定)
- 功率輸出:5千伏DC
- 包括高壓同軸電纜和電源線