Thermionics XYZ機械手

EC系列XYZ機械手以最低的成本提供高精度定位，可容納1.39”和1.87”內徑的波紋管，行程可達6”，有效負載能力可達10磅。

Thermionics EC
Thermionics EMC
Thermionics EMX
Thermionics FB
Thermionics FM
Thermionics EB
Thermionics XYZ

EC系列XYZ機械手

EC系列XYZ機械手以最低的成本提供高精度定位，可容納1.39”和1.87”內徑的波紋管，行程可達6”，有效負載能力可達10磅。

特征

  • 完全組裝后可烘烤至200°C；建筑中不使用鑄件
  • 硬化鋼X和Y交叉輥導軌
  • 雙0.75″外徑硬化不銹鋼Z導桿
  • 鋁制舞臺結構
  • 暴露在真空中的純不銹鋼材料
  • 全位置操作

x軸和Y軸

  • 0.5”X和Y行程，圓形模式，預加載千分尺至載物臺耦合，0.001”千分尺分度
  • 可烘烤至200攝氏度的微米

z軸

  • 0.100英寸/旋鈕調節

可選項

6”底座法蘭–

型號:-B600C

  • 將底座法蘭改為6.0″外徑。
  • 該選項可與任何型號一起訂購

6英寸底座法蘭，帶5個微型端口——

型號:-B600MC

  • 將底座法蘭改為外徑6.0英寸，帶5個小端口
  • 該選項僅可與1.39英寸內徑的波紋管一起訂購

XY千分尺，0.5英寸行程-

型號:/LM

  • 0.0001”分度的大千分尺
  • 兩件套

Axis

Micrometer
Graduation

Resolution

Repeatability

Backlash

Adjustment

X-Y0.001″<0.001″<0.00015″<0.00015″Standard
Micrometer
Z0.0005″<0.0005″0.0005″0.0007″Knob Adjust
X-Y0.0001″<0.0001″<0.00015″<0.00015″Optional
Large Micrometer

Base Flange O.D.

Bellows
I. D.

Travel
Flange

Z Travel

Model No.

2.751.392.752EC-B275C-T275T-1.39-2
2.751.392.754EC-B275C-T275T-1.39-4
2.751.392.756EC-B275C-T275T-1.39-6
4.51.872.752EC-B450C-T275T-1.87-2
4.51.872.754EC-B450C-T275T-1.87-4
4.51.872.756EC-B450C-T275T-1.87-6