Thermionics 真空操作臺(tái) 線性操作臺(tái) 二維操作臺(tái) 三維操作臺(tái) 機(jī)械手 真空三維機(jī)構(gòu) 真空樣品臺(tái)

FM系列復(fù)合精??密機(jī)械手是使用兩個(gè)波紋管的XYZ單元。XY波紋管內(nèi)徑為2.5英寸，3英寸和4英寸，這是標(biāo)準(zhǔn)配置，內(nèi)徑可能達(dá)到6.3英寸內(nèi)徑。這些單位可提供±0.5“或±1”的X和Y行程。它們可以提供最大36英寸或更大的Z行程，標(biāo)準(zhǔn)的Z波紋管ID為1.39英寸和1.87英寸。?

非旋轉(zhuǎn)管狀探針也可以在Z級(jí)基座的底部配備穩(wěn)定的線性軸承。這樣可以使探頭組件更穩(wěn)定，有效的“杠桿臂”更短。

該探頭選件提供了一條無心，接地，空心的不銹鋼管，該管穿過操縱器波紋管的中心延伸。該探頭通過雙面法蘭安裝在行進(jìn)法蘭上，可以輕松拆卸以進(jìn)行設(shè)備安裝。該管由安裝在Z行駛系統(tǒng)底部的不銹鋼線性軸承穩(wěn)定。該軸承大大提高了探頭的穩(wěn)定性。

此外，可以將差動(dòng)泵送的旋轉(zhuǎn)密封件安裝到這些機(jī)械手。它們?yōu)榭蛻舻脑O(shè)備提供了更大的旋轉(zhuǎn)自由度。可以修改探針軸承，以允許探針極旋轉(zhuǎn)以及極軸線性移動(dòng)。該系統(tǒng)提供了一種出色的公用設(shè)施交付方法，而無需在真空中進(jìn)行公用設(shè)施管線的移動(dòng)。

技術(shù)指標(biāo)

X和Y軸

• X和Y行程±0.5英寸或±1英寸，圓形，標(biāo)準(zhǔn)
• 預(yù)裝千分尺級(jí)耦合，
• 0.0001英寸微米劃分大的鼓式千分尺（公制千分尺可選）
• 所有XY軸承可調(diào)

Z軸

• 2英寸至36英寸Z行程
• 變速箱Acme驅(qū)動(dòng)器，0.100英寸/圈（10圈/英寸）
• 0.001英寸刻度，預(yù)緊絲杠和蝸桿
• 位置鎖定
• 擴(kuò)展背架

基礎(chǔ)法蘭

• 6“ OD超高壓基礎(chǔ)法蘭

游動(dòng)法蘭

• 2.75英寸外徑行進(jìn)法蘭

特征

• 整個(gè)過程中均采用硬化不銹鋼軸承和導(dǎo)向桿
• 最高烘烤溫度：200°C