儀表化晶片(熱電偶、鍵合晶片或RTD)在半導體加工設(shè)備中得到應(yīng)用，其中了解和控制晶片表面的溫度是至關(guān)重要的。
Thermo Electric的儀表化晶片正被用于許多行業(yè)，包括快速熱處理(RTP)、快速熱退火(RTA)、曝光后烘烤(PEB)、化學氣相沉積(CVD)、物理氣相沉積(PVD)、離子注入、太陽能電池和許多其他熱驅(qū)動工藝。

Thermo Electric擁有設(shè)計和安裝熱電偶的專業(yè)知識，熱電偶安裝在各種襯底上，包括硅、AlTiC、玻璃、陶瓷和其他提供的裸襯底，涂覆的或圖案化的基底。其他定制基板，形狀和尺寸可用。