Thermo electric晶圓電阻,RTD晶圓電阻式溫度檢測(cè)器,電阻式溫度檢測(cè)器,RTDs傳感器
RTD-低溫/高精度-最高溫度240°C
儀器化的晶圓電阻式溫度檢測(cè)器的工作原理是,在一定的溫度范圍內(nèi),某些金屬的電阻以可重復(fù)和可預(yù)測(cè)的方式增加或減少。
與熱電偶晶片相比,RTD的儀表晶片具有更高的精度和更高的穩(wěn)定性,為監(jiān)控半導(dǎo)體制造設(shè)備提供了額外的選擇。
RTDs傳感器在較長(zhǎng)時(shí)間內(nèi)保持初始精度的能力提供了溫度測(cè)量的可重復(fù)性。
晶圓數(shù)據(jù)采集解決方案-TEDAQ
Thermo electric的數(shù)據(jù)采集(TEDAQ)和溫度映射軟件工具允許精確捕捉和分析任何類型的儀表化晶圓的溫度數(shù)據(jù)。
Thermo electric TEDAQ在儀器化晶圓組件上提供完全集成的多點(diǎn)溫度測(cè)量。
我們的TEDAQ提供了一個(gè)硬件和軟件嵌入式解決方案,可輕松應(yīng)用于任何尺寸的晶圓和多達(dá)64個(gè)熱電偶輸入。
TEDAQ軟件與最新的Windows操作系統(tǒng)兼容。