Thermo electric晶圓電阻,RTD晶圓電阻式溫度檢測器,電阻式溫度檢測器,RTDs傳感器
RTD-低溫/高精度-最高溫度240°C
儀器化的晶圓電阻式溫度檢測器的工作原理是，在一定的溫度范圍內，某些金屬的電阻以可重復和可預測的方式增加或減少。
與熱電偶晶片相比，RTD的儀表晶片具有更高的精度和更高的穩定性，為監控半導體制造設備提供了額外的選擇。
RTDs傳感器在較長時間內保持初始精度的能力提供了溫度測量的可重復性。
晶圓數據采集解決方案-TEDAQ
Thermo electric的數據采集（TEDAQ）和溫度映射軟件工具允許精確捕捉和分析任何類型的儀表化晶圓的溫度數據。
Thermo electric TEDAQ在儀器化晶圓組件上提供完全集成的多點溫度測量。
我們的TEDAQ提供了一個硬件和軟件嵌入式解決方案，可輕松應用于任何尺寸的晶圓和多達64個熱電偶輸入。
TEDAQ軟件與最新的Windows操作系統兼容。
