美國 Universitywafer 雙面拋光 (DSP) 硅晶片

美國 Universitywafer 雙面拋光 (DSP) 硅晶片

雙面拋光 (DSP) 硅晶片

我們提供大量超平雙面拋光優質和測試級硅晶片,涵蓋各種直徑、厚度、方向和電阻率。我們的總厚度變化庫存中只有 1 微米的 TTV。

為了增加晶片的平整度,就是要對晶片的背面進行拋光。雙面拋光有助于降低硅晶片表面的粗糙度。在制造需要超平面和低粗糙度規格的 MEMS 器件時,這是必須的。

除非另有說明,否則以下是?CZ 晶圓晶圓是 SEMI prime,具有一個或兩個平面或缺口。總厚度變化為 <1 μm,弓形 <5μm,翹曲為 <10μm。所有晶圓均為 Prime 級,并裝在密封的硬塑料盒中運輸。

項目類型/DopOri.直徑(mm)總噸位(μm)Polish分辨率 Ωcm
6971n 型 Si:P[100-25° 朝向[110] ±1°6″675DSP1-100
S5594 系列P/B[100]5″990 ±8DSP1-25
D868 系列P/B[100]5″590DSP1-30
F709 系列n 型 Si:P[100]5″762 ±12DSP5-35
S6284 系列n 型 Si:P[100] ±1°4″200 ±10DSP1,000 斐濟>
G706 系列本征 Si:-[100]4″500DSPFZ?>20,000
6356本征 Si:-[100]4″500DSPFZ?>20,000
J302 系列P/B[100]4″600DSP1-50
7089P/B[100]4″381 ±7DSP0.014-0.021
F022 系列P/B[111] ±0.3°4″350 ±5DSP<0.05
6570n 型 Si:P[100]4″400DSP1-10

雙面拋光硅片應用的優勢

光學相干斷層掃描 (OCT)?是用于制造半導體元件的最重要工具之一。其精確的厚度測量使其能夠制造高質量的硅晶片。該系統非常適合制造硅器件,例如高頻集成電路。它還有助于改進制造工藝,對廣泛的工業應用有效

雙面拋光硅片最重要的特性是其改進的性能。其鏡面處理消除了表面的微粗糙和損傷,從而提高了效率并降低了污染風險。該過程涉及幾個步驟,有助于確保高質量和一致的表面處理。本文將概述雙面拋光的好處以及它如何使您的業務受益。對于半導體來說,這是一種經濟高效的選擇。

雙面拋光硅片的主要優勢是其卓越的性能。晶片的兩面都經過拋光至鏡面光潔度。因此,表面污染顯著減少。該工藝還可有效降低顆粒捕獲的風險,而顆粒捕獲會導致性能不佳和效率低下。拋光工藝還使硅晶片比普通晶片更薄,從而形成單鑄錠制造方法。


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