壓力-作用在膜上的力-由其變形確定

隔膜真空計(jì)特別適用于氣體類(lèi)型獨(dú)立的壓力測(cè)量，直至高真空。它們測(cè)量的是膜的彈性變形（Δs），這是不同的力作用在膜的不同側(cè)面上的結(jié)果（見(jiàn)圖）。

電容膜片真空計(jì)測(cè)量相對(duì)壓力。量規(guī)中的基準(zhǔn)體積被抽空到限定值p 2，其中p 2比必須在接收器p 1中測(cè)量的最小壓力小得多。因此，總壓力測(cè)量的誤差可以忽略不計(jì)，該誤差由殘余壓力p 2給出。

在電容膜片真空計(jì)中，壓力敏感膜充當(dāng)電容器的電極之一。變形（Δs）作為壓力差的函數(shù)會(huì)導(dǎo)致其容量變化，可以直接準(zhǔn)確地對(duì)其進(jìn)行測(cè)量。膜片可以用熱膨脹系數(shù)小的不銹鋼制成，也可以用金屬涂層的陶瓷制成。實(shí)際上，基于陶瓷的膜對(duì)溫度變化較不敏感。此外，它們?cè)?a href="http://ydzhly.com/vacom/tag/%e7%b2%97%e7%b3%99/" title="View all posts in 粗糙" target="_blank">粗糙條件下具有更好的松弛性，更高的耐腐蝕性和更好的可用性，因此具有更高的偏壓穩(wěn)定性。膜對(duì)溫度變化引起的長(zhǎng)度變化不敏感，因?yàn)檫@會(huì)影響測(cè)量。膜的厚度是決定最小可測(cè)量壓力的關(guān)鍵因素。通常，具有給定厚度的膜可覆蓋約4個(gè)十倍的壓力范圍。

通過(guò)將傳感器溫度調(diào)節(jié)至恒定45°C，可以提高精度。因此，溫度對(duì)數(shù)據(jù)的影響最小。電容膜片真空計(jì)的優(yōu)點(diǎn)是不受氣體類(lèi)型的影響，精度高（通常為測(cè)量值的0.2％）以及耐腐蝕性氣體。