這是一款先進的高真空磁控管臺式濺射鍍膜機。這種緊湊的涂層系統以其多功能性而著稱，能夠有效地涂覆氧化性和非氧化性金屬。DST1-170 是短期沉積需求的理想選擇，擅長快速生產具有細晶粒紋理的均勻薄膜。通過這種創新解決方案體驗快速而精確的涂層周期。
DST1-170 也可用于光學和薄膜鍍膜的一般金屬濺射。 樣品旋轉是標準配置，大多數應用都可以調整傾斜和高度。 Vac Techniche 還有一系列更大的渦輪泵浦濺射鍍膜機，可選擇 1 至 3 英寸、2 英寸磁控管、射頻和直流、樣品加熱，該系列是 DST1-300 系列。
DST1-170 也可用于光學和薄膜鍍膜的一般金屬濺射。
DST1 可以配備水冷陰極，使其適合長時間沉積。
此模型中基板的最大尺寸可以是 4 英寸。
觸摸屏控制
DST1-170 配備 7 英寸彩色觸摸屏和用戶友好的軟件，可實現無縫控制。其全自動控制功能可輕松調整沉積工藝數據，真空和鍍膜順序信息以數字方式或在屏幕上以曲線形式顯示。此外，它還可以方便地保存最近 300 種涂層的詳細信息以供快速參考。
樣品架
DST1 提供多種樣品臺配置，以滿足各種用戶需求。其標準的可旋轉樣品臺具有可調節的高度和角度，便于定制。用戶可以根據需要輕松地在配置之間切換。對于多孔樣品的均勻涂層，可選的旋轉行星樣品臺是一個很好的選擇。
DST1-170 潔凈真空
真空室是圓柱形 Pyrex。DST1-170 配有一個內部安裝的 90 L/s 渦輪分子泵，由一個 6 m3/h 的兩級旋片泵提供支持。它引入了普通擴散泵通常存在的無油污染的清潔真空。
DST1-170 蒸發
緊湊的臺式真空濺射和碳鍍膜機專為小腔室設計，具有令人印象深刻的脈沖碳纖維蒸發能力。在此過程中使用短脈沖可以在沉積過程中實現更精細的控制，并且作為一個顯著的好處，可以大大減少通常與傳統碳沉積方法相關的碎屑的產生。這一進步不僅提高了涂層精度，還大大減輕了碎屑帶來的挑戰，使其成為各個領域的研究人員和專業人士的寶貴工具。
特征
- 高真空渦輪分子泵。
- 隔膜前級泵。
- 全系列真空計。
- 碳纖維蒸發（升級選項 DSCT）
- 脈沖或閃光碳纖維涂層模式（升級選項 DSCT）
- 高精度石英晶體厚度監測器。
- 直觀的觸摸屏，用于控制涂層過程和快速數據輸入
- 用戶友好型軟件，可通過網絡進行更新。
- 控制涂層速率以獲得更精細的晶粒結構。
- 手動或自動定時和厚度濺射。
- 能夠記錄和繪制涂層參數圖表。
- 配備電子快門。
- 易于更換的樣品臺（旋轉臺為標準）。
- 兩年保修
應用
DST1， Turbo – 泵送臺式濺射鍍膜機：DST1 型磁控管臺式濺射鍍膜機是一種緊湊型鍍膜系統，能夠鍍膜半導體、電介質和金屬（氧化性和非氧化性）。在快速循環時間內形成具有細晶粒尺寸的均勻薄膜。DST1 配備了一個磁控管陰極，根據要求，陰極的直徑可以是 2-4 英寸。
DST1 – 2：DST1-2 配置為濺射鍍膜機和纖維碳鍍膜機（可選），在一臺儀器中具有可互換的頭，適用于掃描電子顯微鏡 （SEM） 樣品制備。這種高真空鍍膜機提供具有細晶粒尺寸的高質量均勻薄膜，適用于需要高分辨率和高質量表征的樣品，例如 FE-SEM、EDS/WDS、TEM 和 EBSD。DST1-2 帶有 2 英寸磁控管陰極、帶匹配盒的 300 W 射頻電源（可選）、80 W 開關直流電源和用于碳蒸發的大電流電源（可選），可用于研究和不同的薄膜應用
DST1 – 4：帶有 4 英寸磁控管陰極的大腔室 DST1-4，水冷，非常適合涂覆直徑達 15 cm 的大型樣品， 或具有相似直徑的多個較小試樣。無限的濺射時間使其適用于厚層的沉積。該系統配備 800 W 直流電源、300 W 射頻電源（可選）和匹配盒。該系統可以在不同的表面上沉積各種材料，用于薄膜應用，如微納米電子和SEM樣品制備
自動化
- 直觀的觸摸屏界面，用于控制涂層過程和快速數據輸入。
- 可以遠程更新的用戶友好型軟件。
- 調整涂層速率以提高晶粒結構質量。
- 半自動到全自動涂層工藝的選項。
- 自動模式下的可重復和可編程濺射作。
- 按時間和厚度手動或自動控制沉積。
- 能夠記錄和顯示涂層參數的圖表。
- 存儲多種涂層配方，以獲得一致的沉積結果。
規格
- 極限真空度：小于 2×10-6 托。
- 控制濺射速率以獲得更細的晶粒結構。
- 自動控制濺射功率，不受壓力影響。
- 精密質量流量計 （MFC） 用于精細控制真空壓力
- 能夠記錄和繪制涂層參數圖。
- 通過 USB 端口將曲線和沉積工藝數據傳輸到 PC。
- 實用程序：220V- 50HZ- 16A。
- 運輸重量 （DST1-2）：28 公斤。
- 運輸重量 （DST1-4）：36 千克
選件和附件
臺式濺射鍍膜機 DST1-170 型具有流動選項和附件：
- 碳纖維蒸發頭 （DSCT）
- 碳棒蒸發頭 （DSCT）l.
- 行星樣品旋轉。
- 備用玻璃。
- 濺射靶材。
- 干泵升級
- 濺射靶材
- 碳纖維
清潔真空
真空室為圓柱形耐熱玻璃，外徑為 300 mm，高為 200 mm （DST1-4） / 外徑 170 mm x 高 140 mm （DST1-2）。DST1 配有一個內部安裝的渦輪分子泵，由隔膜泵提供支持，該隔膜泵可引入清潔真空，而不會產生普通擴散泵中通常存在的油污染。
