英國VacTechniche,DTT-GB 手套箱三重熱蒸發

Vac Techniche 手套箱三熱源桌面涂布機為各種形式的源材料(包括線、繩、顆粒和粉末)提供了一個非常通用的熱蒸發系統,與船/籃和線圈源支架兼容。兼容手套箱,遙控,電動腔室升降機構。

磁控管臺式濺射鍍膜機可以在蒸發濺射沉積之間輕松切換,以制備多層鍍膜。

三個獨立的熱阻熱蒸發源

源溫度控制選項、子狀態溫度監測和控制選項

E蒸發源支架設計不會造成源材料相互污染。

光源支架的長度可在 50mm~90mm 范圍內調節。

提供?Co-蒸發升級

蒸發源

  • 籃子
  • 線圈/線材

真空系統包括:

耐熱,圓柱形耐熱玻璃,外徑 300 毫米,高 200 毫米。

90 L/s?渦輪分子泵直接安裝在真空包絡底板上,并由 6 m3/h 兩級旋轉泵提供支持,該泵可引入清潔真空,而不會像普通擴散泵那樣受到油污染

提供干式前級泵選項
DTT 三重蒸發源選擇是多層或合金沉積的理想選擇。

帶有集成渦輪泵的 DTT 可快速達到壓力,從而在幾分鐘內開始涂層過程。它是研究、實驗室和產品應用的理想選擇

觸摸屏控制

為了便于使用,通過系統 Wi-Fi 遠程連接到筆記本電腦以模擬系統,具有全自動控制、數據輸入和顯示功能的?7 英寸觸摸彩色屏幕控制旨在方便有經驗和沒有經驗的作員使用。控制系統允許記錄多達 300 個歷史處理。

樣品

DCT-臺式碳包衣機
渦輪泵碳包衣機提供多功能樣品臺配置,以滿足各種用戶需求。樣品臺的設計易于旋轉、高度可調和快速互換。為了對多孔樣品進行均勻鍍膜,您可以選擇旋轉行星樣品臺作為附加功能。

DTT-GB 蒸發渦輪
分子泵

90 L/s?渦輪分子泵直接安裝在真空包絡底板上,并由 6 m3/h 兩級旋轉泵提供支持,該泵可引入清潔真空,而不會像普通擴散泵那樣受到油污染

熱蒸發
舟/籃/盤管

臺式熱蒸發器可配備三個獨立的熱阻熱蒸發源。蒸發源支架的良好設計不會造成源材料相互污染。源架的長度可在 5cm~9cm 范圍內調整。

特征

  • 多層熱涂層
  • 大尺寸腔室
  • 高真空渦輪分子泵 300 l/s
  • 隔膜前級泵
  • 全系列真空計
  • 用于多層薄膜沉積的蒸發源(舟/籃/線圈)選擇
  • Co – 蒸發形成合金膜
  • 用于實時厚度測量的石英晶體監測系統(精度為 1 nm)
  • 手動模式、電源、時間控制
  • 自動定時和厚度沉積
  • 易于使用的觸摸屏控制面板
  • 快速數據輸入
  • 用戶友好
  • 可通過網絡更新的軟件
  • 配備電子快門
  • 配備旋轉樣品架
  • 500 °C 輻照基板加熱器
  • 兩年保修

規格

  • 多船、籃子和線圈安裝
  • 極限真空度:小于 2×10-6
  • 電路板處理器記錄和繪圖涂層參數圖
  • 用于導出沉積過程數據的 USB 端口
  • 自動控制:功率和涂層不受壓力的影響
  • 大電流電氣饋通
  • 直流電源,0-100amp 大電流,
  • 短路保護 /
  • 實用程序:220V- 50HZ- 16A
  • 尺寸:60 厘米高 × 65 厘米寬 × 50 厘米深
  • 運輸重量: ~ 60 kg

應用

  • 金屬和介電薄膜
  • 薄膜涂層
  • 光學鍍膜
  • 納米與微電子
  • 醫療零部件
  • 磁性器件
  • 薄膜多層器件

選件和附件

DTT 具有流動選項和附件:

  • 大電流電源
  • 石英晶體
  • 備用玻璃
  • 蒸發源(舟/籃/盤管)
  • 熱源材料
  • 質量流量控制器

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