Vac Techniche 手套箱三熱源桌面涂布機為各種形式的源材料(包括線、繩、顆粒和粉末)提供了一個非常通用的熱蒸發系統,與船/籃和線圈源支架兼容。兼容手套箱,遙控,電動腔室升降機構。
雙磁控管靶臺式濺射鍍膜機可以在蒸發和濺射沉積之間輕松切換,以制備多層鍍膜。
三個獨立的熱阻熱蒸發源。
源溫度控制選項、子狀態溫度監測和控制選項
E蒸發源支架設計不會造成源材料相互污染。
光源支架的長度可在 50mm~90mm 范圍內調節。
提供?Co-蒸發升級
蒸發源
- 船
- 籃子
- 線圈/線材
真空系統包括:
耐熱,圓柱形耐熱玻璃,外徑 300 毫米,高 200 毫米。
90 L/s?渦輪分子泵直接安裝在真空包絡底板上,并由 6 m3/h 兩級旋轉泵提供支持,該泵可引入清潔真空,而不會像普通擴散泵那樣受到油污染
提供干式前級泵選項
DTT 三重蒸發源選擇是多層或合金沉積的理想選擇。
帶有集成渦輪泵的 DTT 可快速達到壓力,從而在幾分鐘內開始涂層過程。它是研究、實驗室和產品應用的理想選擇
觸摸屏控制

為了便于使用,通過系統 Wi-Fi 遠程連接到筆記本電腦以模擬系統,具有全自動控制、數據輸入和顯示功能的?7 英寸觸摸彩色屏幕控制旨在方便有經驗和沒有經驗的作員使用。控制系統允許記錄多達 300 個歷史處理。
樣品架

DCT-臺式碳包衣機
渦輪泵碳包衣機提供多功能樣品臺配置,以滿足各種用戶需求。樣品臺的設計易于旋轉、高度可調和快速互換。為了對多孔樣品進行均勻鍍膜,您可以選擇旋轉行星樣品臺作為附加功能。
DTT-GB 蒸發渦輪
分子泵
90 L/s?渦輪分子泵直接安裝在真空包絡底板上,并由 6 m3/h 兩級旋轉泵提供支持,該泵可引入清潔真空,而不會像普通擴散泵那樣受到油污染
熱蒸發
舟/籃/盤管
臺式熱蒸發器可配備三個獨立的熱阻熱蒸發源。蒸發源支架的良好設計不會造成源材料相互污染。源架的長度可在 5cm~9cm 范圍內調整。