Vac Techniche Ltd 制造的用于濺射和等離子體發(fā)生器的射頻發(fā)生器是用于工業(yè)和實(shí)驗(yàn)室沉積、等離子體生成甚至介電加熱和熔化的可靠設(shè)備。該器件也是半導(dǎo)體制造系統(tǒng)中最重要的組件之一，用于生產(chǎn)現(xiàn)代計(jì)算機(jī)和電子設(shè)備中的集成電路 （IC） 和芯片。
Vac Techniche 射頻發(fā)生器及其阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)構(gòu)成了一個(gè)完整的射頻等離子體發(fā)生組件。射頻發(fā)生器根據(jù)客戶設(shè)計(jì)和制造 27.12 MHz、13.56 MHz、2 MHz 或其他頻段。
該頻率是工業(yè)、科學(xué)和醫(yī)療 （ISM） 無線電頻段中最常用的頻率之一。該頻段用于一般用途，因此允許進(jìn)行高功率活動(dòng)，而不會(huì)對(duì)周圍的電信系統(tǒng)造成任何干擾。該頻段使用功率從幾毫瓦到幾百千瓦不等的發(fā)電機(jī)。
特性和功能
- 反射功率限制器
- 風(fēng)冷（DC 到 RF 轉(zhuǎn)換效率大于 70%）
- 帶觸摸屏的圖形控制、顯示和調(diào)節(jié)系統(tǒng)
- 各種保護(hù)類型（反射功率、過熱、過流和過壓），能夠自動(dòng)限制發(fā)射功率
- 用于遠(yuǎn)程控制發(fā)電機(jī)輸出功率的 0-5 V 輸入電壓;大于 300 W 的型號(hào)的效率超過 90%
- 傳輸功率和反射功率值的模擬輸出
- 輸出功率閉環(huán)控制，隨時(shí)間穩(wěn)定調(diào)整后的功率
- 足夠的屏蔽以防止輻射和 EMI 噪聲，并采取必要措施來保護(hù)作員的健康
- 機(jī)架式包裝盒
技術(shù)規(guī)格
| 電源 | 220 伏（200-240 伏），50 赫茲（50-60 赫茲） |
| 輸出頻率 | 13.56兆赫 |
| 保護(hù) | 各種類型（反射功率保護(hù)、過熱保護(hù)、過流保護(hù)、過壓保護(hù)），特別是反射功率限制器 |
| 顯示 | 帶觸摸屏或數(shù)字顯示器的圖形顯示 |
| 遙控 | 數(shù)字 RS485 |
| 工作溫度 | 10-40°C |
| 冷卻 | 空調(diào) |
| 輸出阻抗 | 50Ω（電阻） |
| 尺寸 （cm） | 取決于設(shè)備輸出 |
| 重量 | 取決于設(shè)備輸出 |
| 輸出連接器 | N – 7/16 |
| 箱體材質(zhì) | 鋁 |
RF生成模型
| RFG150 系列 | RFG300 系列 | RFG600型 | RFG1000 | RFG2000 | RFG5000 | |
| 頻率 （MHz） | 13.56 | 13.56 | 13.56 | 13.56 | 13.56 | 13.56 |
| 功率 （W） | 150 | 300 | 600 | 1000 | 2000 | 5000 |
| 輸出阻抗 （ohms） | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 |
| 連接類型 | 模擬和數(shù)字max485 | 模擬和數(shù)字max485 | 模擬和數(shù)字max485 | 模擬和數(shù)字max485 | 模擬和數(shù)字max485 | 模擬和數(shù)字max485 |
| 前面板顯示 | 液晶顯示器 | 液晶顯示器 | 液晶顯示器 | 液晶顯示器 | 7段 | 7段 |
| 輸出連接器 | N | N | N | N | N | 7/16 |
| 觸摸屏 | 是的 | 是的 | 是的 | 是的 | 不 | 不 |
| 輸入功率 | 單相的 | 單相的 | 單相的 | 單相的 | 3 階段 | 3 階段 |
| 冷卻 | 風(fēng)冷 | 風(fēng)冷 | 風(fēng)冷 | 風(fēng)冷 | 風(fēng)冷 | 風(fēng)冷和水冷 |
