多個源可共用一個腔體
電子束流蒸發(fā)
電子濺射
電阻沉積
具有高度的均勻性和理想的發(fā)射流程
電腦控制
從大氣壓降至10-6托不超過15分鐘
模塊化,可擴展的設計
離子源或者離子輔助
氣體引入系統(tǒng)
樣品加熱、冷卻和旋轉
可屏蔽
沉積速度控制
多個源可共用一個腔體
電子束流蒸發(fā)
電子濺射
電阻沉積
具有高度的均勻性和理想的發(fā)射流程
電腦控制
從大氣壓降至10-6托不超過15分鐘
模塊化,可擴展的設計
離子源或者離子輔助
氣體引入系統(tǒng)
樣品加熱、冷卻和旋轉
可屏蔽
沉積速度控制