德國AMMT 晶圓架 Single EP，帶有背面保護的單個晶圓的晶圓架。
德國AMMT 晶圓架 Single EP專為晶圓電鍍應用而設計。德國AMMT 晶圓架 Single EP接觸晶片的正面，同時保護其背面。Single EP晶片支架在MEMS行業和研究中已經使用了15年多。
晶片由雙精度O型圈系統密封，將晶片上的機械應力降至最低。背面的蓋子將晶片固定在適當的位置，由六個螺釘固定。由于客戶特定的晶圓厚度被加工成蓋子中的凹槽，因此可以使用普通扳手擰緊所有螺釘，而不會對施加的扭矩敏感。這確保了易碎晶片上的最小機械應力。
Single EP晶片支架配備了鍍金的彈簧式電觸點，放置在晶圓架主體的邊緣，與晶圓的前側接觸。觸點位于兩個O形密封圈之間，因此位于干燥邊緣區域內。
為了提供電鍍電流，AMMT的電鍍支架在晶片的邊緣區域周圍嵌入了一個圓形不銹鋼環。該區域由一組電解質兼容的O型環密封件保持干燥。通過四個或更多彈簧加載的金接觸引腳實現與晶片的電接觸。
德國AMMT 晶圓架 Single EP系列可用于2英寸、3英寸、4英寸（100毫米）、5英寸、6英寸（150毫米）、8英寸（200毫米）、300毫米晶圓，以及客戶特定的樣品和芯片。
