德國AMMT 晶片支架Single IL

德國AMMT 晶片支架Single IL是用于單面蝕刻的晶片支架，帶有內部照明。
德國AMMT 晶片支架Single IL的一個獨特之處是集成鹵素燈或LED陣列，用于薄膜厚度的光學檢測。約22μm及以下的硅膜具有透光性，根據其厚度呈現不同深淺的棕色。背面照明功能是克服基于時間的蝕刻停止技術的一些缺點的有用工具。

SingleIL 晶圓夾持器