德國AMMT 微型恒電位儀 Model MC——從實驗室到工業的靈活解決方案。
雖然我們的MEMS恒電位儀 Model SC主要專注于研發目的，但德國AMMT也為小到大規模生產MEMS器件提供了解決方案。我們的MC型多通道恒電位儀包含四個、八個、12個或16個獨立的恒電位系統。由于每個子系統都是完全電絕緣的，因此可以在同一各向異性蝕刻浴中同時獨立蝕刻多達16個晶片。因此，可以確保最佳利用KOH或TMAH設備，同時節省公司的財務和個人資源。
德國AMMT MC型多通道恒電位儀設計為行業標準的19英寸機架，可順利集成到現有的潔凈室環境中。由于每個恒電位儀單元都有自己的混合連接器，可以容納相應蝕刻卡盤所需的所有信號和電源線，因此設置系統很容易。
我們的圖形控制軟件包MPC是MC型恒電位儀的適配多通道版本。該程序不僅控制多達16個恒電位儀，還為蝕刻停止操作員提供面向生產的軟件前端。
AMMT還提供集成在任何自動濕式工作臺上的MC型恒電位儀。
