德國AMMT Single EC晶圓支架專為需要電接觸晶圓背面的單面蝕刻工藝而設計。
德國AMMT Single EC晶圓支架?在MEMS行業和研究中使用了15年多，已經贏得多名用戶對其可靠性和工程質量的信任。Single EC晶圓支架?配備了兩個鍍金彈簧電觸點，用于硅的電化學蝕刻。
Single EC晶圓支架?由雙精度O型圈系統密封，將晶片上的機械應力降至最低。前側的蓋環將晶圓固定到位。由于客戶特定的晶圓厚度被加工成蓋環中的凹槽，因此可以使用普通扳手擰緊所有螺釘，而不會對施加的扭矩敏感。這確保了對易碎晶片的機械應力最小。
Single EC晶圓支架?可用于3英寸、4英寸、5英寸、6英寸和8英寸晶圓。請咨詢其他晶圓尺寸或單個外形尺寸。
訂購Single EC晶圓支架時，需要指定加工成蓋環凹槽的晶片厚度。晶圓支架允許厚度為+/-80μm的晶圓在指定的目標厚度附近。如果需要更大的靈活性，可以訂購帶有不同凹槽的額外蓋環。
此外，晶片和支架主體之間的體積通過通風管連接到環境大氣中，以避免溫度變化引起的壓力。
常規的Single EC晶圓支架專為需要與晶片背面電接觸的單面蝕刻工藝而設計，例如電化學蝕刻停止工藝或多孔硅成型。因此，它配備了兩個鍍金、彈簧安裝的電觸點，可根據用戶要求放置。為了保持較低的維護成本，所有O型圈的尺寸都符合美國AS-568標準。
