AMMT的螺絲擰緊晶片夾持器（也稱為晶片卡盤）為幾乎任何MEMS應(yīng)用提供了解決方案。除了4英寸和6英寸的標(biāo)準(zhǔn)尺寸外，大多數(shù)晶片夾持器還可用于3英寸、5英寸、8英寸的方形芯片，甚至四分之一片完整晶圓的測(cè)試。
Tandem系列的一個(gè)獨(dú)特之處是其對(duì)稱設(shè)計(jì)，允許在每個(gè)晶片夾持器中安裝兩個(gè)晶片。這降低了設(shè)備成本，并允許更高的吞吐量，特別是在小型蝕刻浴中。串聯(lián)支架有普通支架、帶集成接觸引腳的EC型號(hào)用于電化學(xué)蝕刻停止技術(shù)，以及帶接觸引腳和背面照明的IL/OW類型用于光學(xué)控制。
此外，Single OW是一個(gè)單晶圓支架/晶圓卡盤，在制造過(guò)程中具有透明的檢查后蓋。
所有晶片卡盤都是基于化學(xué)性質(zhì)極其穩(wěn)定的聚合物進(jìn)行精確加工的。雙O型圈密封確保對(duì)晶片的可靠保護(hù)，彈簧加載的鍍金接觸引腳允許蝕刻停止過(guò)程的背面接觸。
