德國AMMT 電鍍系統(tǒng)μGalv的研發(fā)是十多年來與最苛刻的客戶合作的成果。它代表了電鍍的最新技術(shù),采用專為高級研究和中試生產(chǎn)而設(shè)計的包裝。
德國AMMT 電鍍系統(tǒng)μGalv專為MEMS、半導(dǎo)體、光學(xué)和太陽能行業(yè)的優(yōu)化均勻電鍍和電沉積處理而設(shè)計。由于設(shè)計靈活,μGalv電鍍系統(tǒng)可以很容易地適應(yīng)和擴展到客戶的要求。μGalv Pro系列適用于Cu、Au、Ni、NiFe、NiCo、NiW和SnPb。自動處理(半自動、干燥-干燥)、預(yù)處理或后處理單元的集成、層流單元、真空捻度機、電解質(zhì)排放的快速連接器、處理過程數(shù)據(jù)的接口等。
旋轉(zhuǎn)的晶圓支架確保了每個鍍槽設(shè)計的最佳均勻性。
德國AMMT 電鍍系統(tǒng)μGalv是一種用于各種金屬(金、鎳、銅)的交鑰匙電鍍系統(tǒng),還提供額外的清洗槽或快速傾倒清洗機。德國AMMT μGalv Pro系統(tǒng)是從密集研發(fā)到試生產(chǎn)電鍍應(yīng)用的理想平臺。