德國(guó)AMMT 電鍍系統(tǒng)μGalv Pro
德國(guó)AMMT 電鍍系統(tǒng)μGalv Pro是十多年來(lái)與最苛刻的客戶合作的結(jié)晶。它代表了電鍍的最新技術(shù)，采用專為高級(jí)研究和中試生產(chǎn)而設(shè)計(jì)的包裝。
德國(guó)AMMT 電鍍系統(tǒng)μGalv Pro專為MEMS、半導(dǎo)體、光學(xué)和太陽(yáng)能行業(yè)的優(yōu)化均勻電鍍和電沉積處理而設(shè)計(jì)。由于設(shè)計(jì)靈活，它可以很容易地適應(yīng)和擴(kuò)展到客戶的要求。μGalv Pro系列適用于Cu、Au、Ni、NiFe、NiCo、NiW和SnPb。
旋轉(zhuǎn)的晶圓支架確保了每個(gè)鍍槽設(shè)計(jì)的最佳均勻性。
與我們所有的系統(tǒng)一樣，德國(guó)AMMT 電鍍系統(tǒng)μGalv Pro有很多選擇。自動(dòng)處理（半自動(dòng)、干燥-干燥）、預(yù)處理或后處理單元的集成、層流單元、真空捻度機(jī)、電解質(zhì)排放的快速連接器、處理過(guò)程數(shù)據(jù)的接口等。
德國(guó)AMMT 電鍍系統(tǒng)μGalv Pro是一款交鑰匙電鍍系統(tǒng)，采用45°流動(dòng)電鍍槽設(shè)計(jì)和旋轉(zhuǎn)晶圓架，可實(shí)現(xiàn)出色的均勻性。可提供用于各種金屬（Au、Ni、Cu）和合金（Ni-Fe、Ni-Co、Ni-W、Sn-Pb）的工藝槽，以及額外的沖洗槽或快速傾倒沖洗器。德國(guó)AMMT 電鍍系統(tǒng)μGalv Pro是從密集研發(fā)到試生產(chǎn)電鍍應(yīng)用的理想平臺(tái)。
