德國AMMT 恒電位儀Model SC,MEMS恒電位儀,用于電化學蝕刻停止過程的專用恒電位儀

德國AMMT 恒電位儀Model SC

德國AMMT 恒電位儀Model SC是用于電化學蝕刻停止過程的專用恒電位儀
德國AMMT 恒電位儀Model SC是專門為硅微加工中的電化學蝕刻停止技術而設計的。許多微機電系統(MEMS)的制造取決于該處理步驟的可靠且易于使用的電位控制器。MEMS恒電位儀滿足這兩種需求。首先,高度集成和使用功能強大的微控制器證明了該系統的技術標準。極低噪聲運算放大器、精密電壓基準和高精度A/D和D/A轉換器保證了蝕刻停止過程的出色再現性。所有輸出均具有短路保護,如果過載,將關閉裝置。Model SC 恒電位儀檢測常見的錯誤情況,如晶片或電纜斷裂,并向操作員發出警報,提供錯誤描述。

Model SC 恒電位儀配有適用于Microsoft Windows XP/7/8的專用軟件,用戶可以控制所有恒電位儀設置。在這種情況下,計算機會記錄所有數據,將其顯示在屏幕上,并將其保存到磁盤以供以后使用。

Model SC 恒電位儀主要特征:
輸出電壓范圍為-10 V至10 V
四電極配置的補充電壓輸出(電壓范圍0V至10V)
輸出電流高達750mA
所有輸出均具有短路保護和熱關閉功能
自動量程電流電壓轉換器
字母數字狀態顯示(電流和電壓)
通過串行端口(RS-232兼容)、USB 2.0和以太網進行計算機控制
適用于Microsoft Windows 7/8的專用軟件
緊湊型設計
錯誤檢測(晶片斷裂、電纜斷裂、電流過載)
電流峰值檢測算法
完全光隔離的計算機接口允許在單個蝕刻劑浴中獨立并行處理

Model SC 恒電位儀


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